中古 SVG / THERMCO / AVIZA AVP 8000 #9172756 を販売中
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販売された
ID: 9172756
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
Vertical LPCVD furnace, 8"
SELOX
Process type: Selective oxidation
System interface:
Computer: Sun ultra 5
System software: AVP Software version 2.6.1
Printer assy: No
Interlock test procedure: TBD
AC Power input options and line frequency: 480 VAC, 3 phase, 60 Hz
Wafer type: Notch
SMIF: No
Cassette type: Entegris
Cassette model: KA202-80SH-47C02
Carousel:
(16) Cassettes
(2) Levels
Wafer counter: Present
End effector type: Optical sensor
Includes:
Post process exhaust burning unit
Heater element:
(5) Zones
Mid temp
P/N: 602783-08
Torch assy:
P/N: 172441-003
Torch spike TC:
P/N: 739655-001
Torch injector TC:
P/N: 739603-001
Thermo-couple type: R
Profile:
P/N: 910601-001
Spike:
P/N: 103365-01
Over temp:
Zones: 1-4
P/N: 103281-01
Over temp:
(5) Zones
P/N: 103365-01
Scrubbed exhaust: 4" Bottom
Cabinet (non-scrubbed) exhaust: 6", top
Door oring: Face seal / O-Ring
P/N: 105640-02 / 781053-003
TCA Controller: No
Door: Stainless steel door
P/N: 601486-02
Quartz:
Tube: Dual-wall
(1) Piece
P/N: 105678-01
Liner: No
Silicon carbide element liner: No
Quartz boat: No
Silicon carbide boat: Present
P/N: 109085-03
Pedestal assembly: Present
P/N: 108930-01
Silicon carbide baffle: Present
P/N: 109086-01
Quartz crossover: No
Quartz external Ox (Troch) chamber:
(1) Piece
P/N: 815016-665
Torch assy: External
Exhaust elbow: Present
P/N: 105936-01
TC/Seath: Integrated into quartz tube
Gas panel: Gas schematic
Gas panel:
P/N: 606820-01 Rev: 4
P/N: 606821-01 Rev: 5
MFC Type: Unit 1660 / Tylan FC 2900
N2 Dilution: 500 SLPM (Oriface)
H2 Low MFC: (1) SLPM
P/N: 910459-146
H2 High MFC: (30) SLPM
P/N: 910459-155
Purge N2 MFC: No
UHPO2 MFC: (3) SLPM
P/N: 910459-154
UHPN2 Low MFC: (2) SLPM
P/N: 908165-012
UHPN2 High MFC: 30 SLPM
P/N: 910459-009
Gas filter size / Type: Wafer guard
P/N: 907063-010, 001
Gas panel N2 pressure gauge size / Type:
Span pressure transducer: 0 - 250 psia
P/N: 701990-003, 002
P/N: 1-909909-001
Gas panel O2 pressure gauge size / Type:
Span pressure transducer: 0 - 250 psia
P/N: 710990-002
Gas panel H2 pressure gauge size / Type: No
P/N: 701990-003
Gas panel N2 size / Type: No
P/N: 710990-002
Gas panel N2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel O2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel H2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel N2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Boat area N2 purge: Flow control
Carousel area N2 purge: Flow control
Pressure settings:
UHPN2: 45 ± 10 psig / (55) SLPM
UHPO2: 45 ± 10 psig / (3) SLPM
N2 Purge: 45 ± 10 psig / (30) SLPM
H2: 45 ± 10 psig / (30) SLPM
N2 Dilution: 60 +5, -0 / (500) SLPM
N2 Automation: 100 psig
2002 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000は、製造、研究開発、産業アプリケーションにおけるさまざまなアニーリングおよび拡散プロセス用に設計された拡散炉です。システムは、必要なプロセスのサイズと種類に応じて、さまざまな構成とサイズで利用できます。ユニットの特徴は、最大30kgの負荷容量、最大38 x 66 x 23のチャンバーサイズ、10〜1000°Cの温度範囲、および± 1°Cの高温均一性と± 1°Cの精度を含みます。機械はまたプログラム可能な温度調節器、プログラム可能な傾斜率、セットポイント制御および冷却機能を含んでいます。SVG AVP 8000シリーズのシステムには、石英保護管、スピンスピナー、温度モニター、真空ポンプ、真空ゲージ、およびパイロメータ、熱電対、放射パイロメータ、シース熱電対などのさまざまなセンサーなどのさまざまなアクセサリも含まれています。このツールはまた、シングルウェーハ、複数のウェーハ、バッチ、連続など、さまざまなプロセスプラットフォームを備えています。この資産は、超音波ホットローディングモデル、自動ドアの開閉および水素供給能力を備えています。また、この装置は酸素パージ機能を備えており、環境汚染物質による誤読を排除するのに役立ちます。また、冷却サイクルを内蔵し、材料の過熱や溶融を防ぎます。このユニットはまた、フラックス制御を備えており、オペレータは拡散プロセスに使用するフラックスの量を調整することができます。このマシンは、PV-Proソフトウェアなどのさまざまなサポートツールで遠隔操作できます。このソフトウェアは、ユーザーがツールのパフォーマンスとステータスデータ、ならびにプログラムプロセスにアクセスして資産パフォーマンスを監視できるグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。このソフトウェアには、アラームやエラーに関する情報、およびデータロギングが含まれており、プロセスのパフォーマンスを確認するために利用できます。このモデルには、材料使用量、温度プロファイル、セットポイント、パラメータ、結果など、プロセス中に記録されたすべてのデータを含む統合データログも含まれています。データは、プロセスのパフォーマンスをレビューし、将来の使用のためにプロセスを最適化するために使用することができます。この装置は、エアコン、暖房、冷凍研究所（AHRI）、電気電子工学研究所（IEEE）、国際安全機器協会（SIA）など、さまざまなアプリケーションの安全要件を満たすように設計されています。さらに、このシステムはイーサネット接続を介したリモートアクセス用に設計されており、ユニットから他のシステムへのデータ通信が可能です。また、シャッター、ヒートシールド、シールドなどの幅広いアクセサリーを備えているため、作業者は工具を保護し、効果的な操作を可能にします。
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