中古 SVG / THERMCO / AVIZA AVP 8000 #9168928 を販売中

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ID: 9168928
ウェーハサイズ: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6" Process: TEOS Chamber Mainframe EDWARDS iQDP80 / QMB1200 Pump Gas manifold box Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000は専門の等級の拡散の炉および付属品のパッケージです。半導体や光学デバイスの製造、マイクロエレクトロニクス、材料沈着プロセスなど、さまざまな研究および製造プロセスに使用されています。SVG AVP 8000は、グラファイトサセプター、CVDチャンバー、ホットゾーンアセンブリ、真空差動ポンピングシステム、水浴、マニピュレーター、およびその他の様々なアクセサリーを備えた温度制御型のるつぼタイプの炉で構成されています。AVIZA AVP 8000は、正確な温度制御、高速加熱速度、および均一で高品質の層を成長させる能力のために設計されています。それは± 2°Cの正確さの1370°Cまでの温度較差を特色にします。堅牢な水冷るつぼは、幅広いサイズと形状をサポートし、最大40キログラムの充電に対応できます。CVDチャンバーは、化学蒸着(CVD)および化学機械研磨(CMP)プロセスの広い範囲を提供することができます。これは、気体種の安全で管理された配送を可能にする一連の同軸石英パイプで設計されています。また、加熱されたサセプタプレートを装備し、熱均一性を提供し、チャンバー内の圧力を差動ポンプで調整することができます。THERMCO AVP 8000の中心はホットゾーンアセンブリです。これには、鋳造アルミボディ、グラファイトサセプター、発熱体アセンブリが含まれます。また、優れたシールと調節可能なノズルチップを備えており、温度の均一性を制御し、タイトなサーマルフィットを確保します。最後に、AVP 8000には、ホットゾーンアセンブリ内のサンプルの正確な位置決めを可能にする一連のマニピュレータが付属しています。マニピュレータは、サンプル配置の容易さと正確さのために、高度な位置読み取りシステムが装備されています。全体的に、SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000は、温度、圧力、サンプル配置の正確かつ効率的な制御を提供するように設計されたプロのグレードの拡散炉とアクセサリーパッケージです。特にCVDおよびCMPアプリケーションに適しており、温度と圧力を正確に制御する機能を備え、優れた均一性を提供します。SVG AVP 8000は信頼性が高く効率的なツールであり、幅広い研究および製造プロセスで使用できます。
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