中古 SVG / THERMCO / AVIZA AVP 8000 Series #9076924 を販売中

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ID: 9076924
ヴィンテージ: 2002
Furnace Model No.: 8507SO Type: AVP SEL OXIDE 2002 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000シリーズは、さまざまなアプリケーションで最適な性能と効率を得るために設計された一連の拡散炉およびアクセサリです。AVP 8000はコンパクトで高性能な炉で、3つのモデルで最大7段階の処理が可能です。AVP 8000は、均一で均一なチャンバー温度を保証する特許取得済みの制御装置で、精密な大気制御を提供します。ガスマスフローコントローラは、大気が均一で安定していることを保証し、再現可能な生産結果をもたらします。その他の特徴としては、真空制御、電力安定化、および様々な均一な加熱源があります。AVP 8000は、精密な温度制御と、処理中のチャンバー温度を監視するのに役立つ黒色応答石英ディスク温度計を備えています。AVPはまた、熱損失を最小限に抑え、基板の均一で均一な加熱を保証するピクチャーフレーム設計を備えています。炉は2000°F (1090°C)の最高温度の全体の仕事区域を通して均一な暖房を保障するように設計されています。この炉は、優れた熱効率と優れた熱均一性を提供する多形合金を使用しています。これにより、チャンバー全体で均一な処理が保証され、ウェーハの各バッチが同一に処理されます。AVP 8000は、従来のキャビネット式炉プロセスから特殊な低熱慣性ウェハプロセスまで、一連のプロセス機能を提供します。拡散炉に加えて、SVG AVP 8000シリーズは様々なアクセサリーを提供しています。これには、局所加熱用ゾーンコイル、ウェーハ自動搬送用カセットフィーダ、標準真空システム、および独自の高度なファイリングユニットが含まれます。このマシンは、オペレータがチャンバー内のウェーハを正確に配置して処理するのを助けるように設計されています。AVP 8000炉とその付属品の組み合わせにより、さまざまな処理アプリケーションに理想的なツールとなります。このアセットにより、ユーザーはアプリケーションに最適なツールを利用することができ、プロセス時間の短縮とコストの削減につながります。AVP 8000は、今日の複雑な処理環境の幅広いニーズに対応できる信頼性の高い堅牢なモデルです。
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