中古 SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9390666 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA 5204は、さまざまな産業用途のニーズを満たすように設計された高温、拡散炉およびアクセサリーパッケージです。この装置は、グラファイト発熱体、電源システム、および制御と監視を強化するための付属品を内蔵したコンパクトな熱室で構成されています。SVG 5204は、堅牢なステンレス鋼とベスビウム製の高温拡散炉です。1000°Cまでの温度で信頼性の高い、プロセスに不可欠な性能を提供するように設計されています。このユニットは、さまざまなプロセスガスと互換性があり、直径4。00インチ（10。2 cm）までのウエハ処理が可能です。この機械は、信頼性の高い抵抗加熱のために、熱室内に含まれるグラファイト発熱体を利用しています。この要素は、炉温度を低減し、寿命を改善するために、水冷内壁によって保護されています。このユニットには、耐久性のある制御エレクトロニクスと、より大きな制御のためのオペレータインターフェイスを備えた電源ツールも付属しています。AVIZA 5204のアクセサリにより、ユーザーは資産の機能を最大限に活用できます。アクセサリーパッケージの特徴は、断熱毛布、サンプルチャンバーを見るための石英バイザー、RFフィルター、排気フランジなどです。フランジは外部ガスモデルの直接接続を可能にし、RFフィルタはサーマルチャンバーから余分なRF信号を取り除き、より正確な制御を可能にします。また、ガスコントロールモニター、ガスフローメーター、一貫したガスフローと圧力監視のための圧力真空ゲージも供給されています。アクセサリーパッケージには、2つの検出ポート、石英ベルジャーとサポートハードウェア、および成長サンプル用の絶縁石英るつぼも含まれています。5204熱拡散炉とアクセサリーパッケージは、信頼性が高く、正確で費用対効果の高いオールインワンソリューションです。堅牢なステンレス鋼とベスビウム構造、グラファイト発熱体、包括的な付属品パッケージにより、システムは優れた性能と長期的な信頼性を提供するように設計されています。