中古 SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9226092 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA 5204は、さまざまな業界で使用されるウェーハや基板への材料の堆積を最適化するために設計された拡散炉およびアクセサリ装置です。この先進的なシステムは、蒸着プロセス中に均一な温度分布のための加熱ガスを含む垂直に取り付けられたステンレス製の石英チューブと、信頼性の高い機械式圧力制御ユニットとガス混合設備を備えています。オプションの排気装置は、潜在的な汚染物質がサンプルまたはその周辺に堆積しないように設計されています。水平に取り付けられた水晶管は、迅速なプロセス時間と低い基板温度を容易にします。統合された石英循環ポンプは、高精度で加熱ガスを基板に誘導し、熱勾配を最小限に抑えるように設計されています。高度なチャンバーベントツールは、蒸気を安全に除去することによってガス濃度を低減するのに役立ちます。ガスミキシング施設は、蒸着プロセスに必要なガスの清潔で制御された雰囲気を提供するために、精密な比例弁と専用のガスマニホールドを備えた統合バブラー資産で構成されています。敏感なサンプルは、SVG 5204の位置ウエハホルダー、リフトハンドル、および調整可能な冷却プレナムで安全に処理されます。サンプルホルダーは高さと角度を簡単に調整できるため、サンプルはできるだけ完全に加熱されます。ウェーハホルダーはサンプルに最低限の圧力を与え、加熱されたガスの分布を保証します。オプションの外付けコントローラには、プロセスが正しく正確に実行されるようにするマイクロプロセッサが含まれています。コントローラのタッチスクリーンディスプレイは、モデルのすべての機能を直接操作して、ユーザーに最大のプロセス制御を与えることができます。また、プロセスをさらに簡素化し、効率を高めるためのプリセットプログラムも備えています。全体として、AVIZA 5204は、さまざまな産業の堆積ニーズを満たすことができる高性能の拡散炉とアクセサリ機器です。高精度のガス分配と温度制御により、最も敏感な表面でも均一な結果を得ることができます。コントローラと自動プログラミングオプションを使用することで、効率を高め、無駄を減らすことができます。