中古 SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9043980 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA 5204は、半導体業界のウェーハ加工アプリケーションに最適な拡散炉およびアクセサリ機器です。このシステムは、最適なデバイス性能を達成するための最適な温度制御と均一性を提供します。部屋のサイズは375x350x250 mmであり、部屋は1150°C。まで温度に達することができます。SVG 5204は、カスタマイズされたウェーハローディングユニットとカセット搬送機への内部カセットを備えています。インボード温度センサは、精度を保証し、温度プロファイルを制御します。ラジアル拡散時間はセットアップが簡単で、広い再現性を提供します。その他の機能には、Precision Swing Arm Load Lock （PAL）チャンバー、ハイグレードセラミックファシア、ソリッドステート電源制御回路、AutoTuneツールによるPID制御などがあります。AVIZA 5204の発熱体は、1要素あたり1オームの抵抗を持つ接地電気抵抗体です。これにより、チャンバー内の温度分布も保証されます。温度制御はプロセスを通して正確、一貫しています。また、加熱素子とチャンバーの間には独立したヒートトラッピングシールドがあり、安全性と温度精度を向上させます。拡散炉はまた、均一なガス流量のためのガス分布ノズルを備えています。ガス回路用のステンレス製ベローズと、排気ファン用の独立したオン/オフスイッチを備えています。ファンは最高の効率のための所望の率のために調節することができます。オンボードコンピュータはまた、制御とトレーサビリティを確保するために、すべてのデータを監視およびログ化します。さらに、5204アクセサリーには、グラファイトサセプター、高温ダイナミックプロセスケーブル、高温プロセスラインフランジ、低温アグレッシブプロセスラインプラグが含まれます。各アクセサリーは、炉の資産の全体的な設計に重要な目的を果たします。THERMCO 5204拡散炉とアクセサリーモデルは、ウェーハ製造プロセス全体にわたって正確で一貫した反復可能な結果を保証します。これは、信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いソリューションを探している半導体メーカーや研究室にとって理想的な選択肢です。