中古 SVG / THERMCO / AVIZA 5200 #9225999 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA 5200拡散炉は、長年にわたる中断のない優れた拡散処理性能を提供するように設計された、堅牢で信頼性が高く、汎用性の高い拡散炉です。SVG 5200は、拡散のすべての段階で正確な温度制御を提供し、プロセス歩留まりを向上させます。AVIZA 5200は、最大4つの800mm²ウェーハキャリアを同時に処理できるユニークで特許取得済みの垂直スチールフレーム付きホットゾーンを備えています。この革新的な設計により、大規模な生産が可能になり、ターンアラウンドタイムが短縮されます。この炉にはプラズマ強化化学蒸着（PECVD）キットも含まれており、高品質で欠陥の少ない拡散層を生成し、歩留まりをさらに向上させます。この炉は柔軟性が高く、直径25mmまでの幅広いウエハサイズに対応できます。この機能により、オペレータはウェーハを転送したり設定を調整したりすることなく、より高いスループットに到達できます。ユーザーフレンドリーなコントローラにより、設定とパラメータが直感的かつ正確に入力および維持され、オペレータの介入を最小限に抑える必要があります。最大の安全性を確保するために、5200拡散炉には、フェイルセーフ、開蓋検知、セキュリティシステムなど、さまざまな安全機能が装備されています。また、優れた熱性能と環境保護を提供し、ホットゾーンでは± 1°C、クールゾーンでは0。1°C ±の温度精度を維持します。THERMCO 5200拡散炉のその他の機能には、マルチプログラムのストレージとリコール、構成可能なレシピ、手動または自動操作、複数の加熱レートオプション、およびシステム監視ソフトウェアがあります。この炉は、最先端の設計、優れた材料、比類のないエンジニアリングにより、ユーザーに最高品質の結果を提供するように設計されています。