中古 SVG / THERMCO / AVIZA 5000 #9195863 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA 5000は半導体の製造のための高性能の拡散炉および付属品です。炉は制御された拡散、アニーリングおよび酸化プロセスのために設計されています。これは、高度な炉の設計と加工の柔軟性を備えており、全熱質量にわたって精密温度制御と優れた温度均一性を可能にします。その高度なデュアルチャンバー構造、加熱ビレット転送チャンバーと、最高の断熱と熱環境の制御だけでなく、優れたプロセスの均一性を提供します。SVGTSVG 5000は、単一のるつぼインサートと等温ジャケットに囲まれた高性能サセプターを備えており、正確な温度制御と熱汚染の減少を可能にします。この炉には、自動ポンピングシステムと手動ポンピングシステム、電子制御不活性ガス、および高度な温度および圧力監視機能が含まれています。また、5ゾーンプログラマブルヒーターを備えており、2000°Cまでの精密な温度制御が可能です。暖房ゾーンは3つの内部ゾーンと2つの外側ゾーンに分かれており、最適な温度の均一性と制御と低減勾配を提供します。独立して調整可能でプログラム可能なインナーゾーンは、熱伝達時間を短縮し、より一貫したパフォーマンスを生み出すように設計されています。また、PID温度制御や過熱保護など、高度な安全監視機能やアラーム機能など、さまざまなプロセス機能も備えています。さらに、酸素パージ/還元システムを備えており、酸化プロセスを効果的に制御することができます。反復可能な性能および一貫した、信頼できる結果を保障するためには、炉は高度の絶縁材および冷却装置と造られます。構造はエポキシによって満たされる二重モジュラー絶縁された部屋および全体の熱質量を通して均一な冷却を提供する統合されたPCRの冷却装置を特色にします。絶縁材はプロセス部屋内のよりよい温度の均等性および有効な冷却を提供し、最高温度の設定で再現可能なプロセスの性能を保障するのを助けます。炉は、高度なプロセス機能、直感的なプログラミングと制御、自動化されたウェーハハンドリングシステム、およびオンラインモニタリングと診断の範囲を提供する大きなタッチスクリーンインターフェイスで、使いやすいです。ユーザーインターフェイスは使いやすさのために設計されており、直感的なコントロールとディスプレイでレシピを簡単に作成、監視、調整できます。炉は要求の厳しい生産および研究の適用のために設計され、速く、反復可能で、信頼できる性能を提供します。