中古 SVG / THERMCO 5200 #9250085 を販売中

SVG/THERMCO 5200拡散炉は、正確で均一な厚さのウェーハを作成するための高効率で信頼性の高いツールです。この完全自動化された炉は、ウェーハ製造プロセスをカスタマイズするためのさまざまなアクセサリーを提供し、生産要件を最大限の精度と精度で満たします。SVG 5200は、高度なゾーン温度制御システムを備えたシングルゾーン炉で、化学蒸着（CVD）および化学機械平坦化（CMP）プロセスに最適な雰囲気を提供します。この炉は、ゾーン全体にわたって均一で安定した温度を維持しながら、最大1000Cの温度を達成することができます。最高の精度のために、THERMCO 5200には連続監視用の光学クォーツウィンドウと、新しいウェーハの製造時に最適な純度とトレーサビリティを保証するガスフロー検出システムが装備されています。5200も高度に設定可能で、ユーザーは複数のプロセスパラメータを調整できます。ガスフローやアニール雰囲気の圧力を変えることで、ウェーハの厚みや光学特性を向上させることができます。SVG/THERMCO 5200の高温均一性を維持するために、炉にはアクティブな水冷拡散ライナーが装備されています。ライナーは、アニーリングゾーン全体にわたって一貫した安定した温度を提供することにより、最適な結果を保証するのに役立ちます。さらに低温勾配の場合は、オプションのグラファイト断熱カバーも取り付けることができます。温度制御に加えて、SVG 5200は圧力監視、外部ガス制御、酸素枯渇制御などの高度なプロセス制御機能も備えています。これにより、ユーザーはプロセスの厳格な管理を維持しながら、汚染やその他の生産上の欠陥のリスクを低減できます。THERMCO 5200は、クォーツサセプター、クォーツリフトピン、取り外し可能なグラファイトジグなど、さまざまなアクセサリーに対応しています。5200拡散炉は、高品質で均一なウェーハの製造に効率的で信頼性の高いアニーリングソリューションを提供します。最高レベルの温度調節システムにより、ユーザーはウェーハが最高の精度と精度で製造されることを知って安心できます。SVG/THERMCO 5200は、さまざまなコンフィギュレーションオプションと多数のオプションアクセサリーにより、ウェーハ製造プロセスの成功に必要な汎用性と最適化を提供します。