中古 SVG / THERMCO 5100 #9411905 を販売中

SVG/THERMCO 5100は、さまざまな困難な熱処理および化学処理アプリケーションに最適な拡散炉およびアクセサリ機器です。優れた機能を備えたSVG 5100は、プロセス効率を確実に最大化し、バッチの均一性を向上させ、サイクルタイムを短縮します。THERMCO 5100システムの本体は、電源、ポンプ、高真空室で構成されています。2ドアキャビネットに内蔵されている電源は、正確な温度制御を可能にし、正確なリアルタイム温度を提供します。メインチャンバー内に位置し、ビューポートを通して見えるポンプは、最大限の信頼性を与え、所望のプロセスパラメータに到達することを保証します。チャンバー内に追加のポンプステーションを設置することができるので、ユーザーは最大3セットのポンプを持つことができます。その結果、5100はチャンバー全体で優れた温度均一性を示します。SVG/THERMCO 5100ユニットはまた、パフォーマンスを向上させ、プロセスを合理化するための多くの先進的なアクセサリを提供しています。例えば、様々なモジュラーウェーハキャリアを備えており、ウェーハの迅速かつ安全なロードとアンロードを可能にします。また、手動で調整可能なバルブと自動コントローラを含む複数の真空制御オプション、必要に応じて不活性な雰囲気制御機を備えています。最後に、独立した電源を備えたオプションのクォーツランプホルダーが用意されているため、ウェーハ処理を見るための照明をチャンバー内に取り付けることができます。これらの機能を組み合わせることで、SVG 5100は信頼性と高効率の拡散炉とアクセサリのツールとなります。正確な温度制御を提供し、ウェーハキャリア、真空制御オプション、サポートされているアクセサリにより、ユーザーは特定のニーズに合わせてアセットをカスタマイズできます。これにより、スループットが向上し、信頼性の高い結果が得られます。