中古 SVG / THERMCO 5100 #9265353 を販売中

SVG/THERMCO 5100は、ウェーハ拡散プロセスを正確に制御するために、SVG、 Inc。が製造した拡散炉およびアクセサリです。このツールは、研究開発（R&D）および高温拡散およびアニーリングプロセスに使用される高度なラボシステムです。高温性能、精密な温度制御、多重構成など、幅広い機能を誇るマルチゾーン水平炉です。この水平炉は、内部絶縁シェル、外側ケース構造、マルチゾーン加熱部で構成されています。また、効果的なベローズ操作と優れた均一性制御のためのリフトオフカバー（LFC）とベローズ機構が含まれています。LFCは、低粒子カウントと均一なプロセス温度を確保するために動作します。SVG 5100には、CRIUSデジタルコントローラとプログラマブルロジックコントローラ（PLC）が装備されており、正確でリアルタイムの温度制御を提供します。CRIUSデジタルコントローラは、主要な温度設定のセットアップと監視、および炉の実際の動作パラメータのリアルタイム測定を可能にします。PLCは、均一性とリピートデータのプロセス調整を提供し、炉に必要な熱プロファイルを確立します。この炉は、完全なウェーハ幅にわたって温度均一性のための2つの赤外線クォーツエレメントを含む加熱ゾーンを備えています。また、ツールへの偶発的な損傷を防ぐ電気安全インターロックと呼ばれる保護要素を備えています。最後に、洗練された温度制御モジュールは、加熱ゾーン全体の温度の均一性をさらに最適化します。THERMCO 5100は、炉の寿命を改善するように設計された環境安全制御も備えています。不活性ガスのパージングシステムは、窒素、アルゴン、水素、ヘリウム、または他の不活性ガスの導入を可能にし、酸化および汚染に対する効果的な保護を提供します。このシステムは、安全性、清潔性、およびプロセスの再現性の最高水準を長期にわたって保証します。THERMCO、 Inc。の手頃で効率的な高温拡散およびアニーリングツールは、半導体包装、MEMS、ナノチップ統合などの大量アプリケーションにおいて、許容可能なウェハの均一性と精度を実現するのに最適です。その信頼性の高い温度制御、優れたプロセス再現性、および環境安全機能により、5100は、品質と精度が最も懸念される研究開発ラボに最適です。