中古 SVG / THERMCO 5100 #9265352 を販売中

SVG/THERMCO 5100は、超高純度および精密炉の性能を提供するように設計された拡散炉です。それは再生可能な、堅いプロセス均等性および急速なプロセス周期時間を遂行するための理想的な選択です。SVG 5100は、ウェーハ処理のために個別に制御またはプログラムすることができる7つのゾーンからなる受賞歴のあるデザインを備えています。この7つのゾーンは、小型から大型ウェーハまで、さまざまなサイズのウェーハの拡散処理を可能にするように構成されています。各ゾーンには、プロセスレシピに関してすべてのニーズを満たす高度な可変熱帯が装備されています。異なった地帯はプロダクト周期のための速く、正確な暖房を保障するためにリアルタイムで活動化させることができる多数の発熱体が装備されています。ファンレス素子の電気特性は、ウェハサイズや加工条件に応じてゾーンごとに異なります。電気要素は300°Cから1,500°Cまで及ぶ異なった温度を可能にするために正確に制御されます。これにより、THERMCO 5100は、反応アニーリング、ストレスアニーリング、ウェーハの不純物の拡散など、さまざまなプロセスに最適です。一貫して再現可能なアニールプロセスを確保するために、5100には空気循環ファンと温度制御窓ベントが装備されています。このマシンにはプログラマブルタイマーが装備されており、ユーザーは各プロセスサイクルの温度と幅を設定できます。さらに、ユーザーは単一のリモート端末からプロセス全体にアクセスして監視することができます。SVG/THERMCO 5100は、窒素やアルゴンなどの不活性な雰囲気と組み合わせて使用することで、プロセス全体で2°Cの均一性を維持しながら、極めて純粋な拡散プロセスを実現します。SVG 5100は、プロセスチャンバー、圧力イコライジング継手、真空ポンプなど、さまざまなアクセサリーを備えており、さまざまな用途に対応しています。THERMCO 5100は、安全インターロックと緊急停止保護を備えた優れた安全性と性能を備えています。さらに、炉はプロセスの問題を検出し、壊滅的な故障から炉を防ぐ一連の運用アラームを備えています。全体として、5100は非常に汎用性が高く信頼性の高い拡散炉であり、優れた安全機能を備えた信頼性の高いプロセス制御を提供します。炉のモジュール設計および高度の特徴はすべての拡散プロセス条件のための有効で、信頼できるプラットホームを提供します。