中古 SVG / THERMCO 5000 #9265354 を販売中

SVG / THERMCO 5000
製造業者
SVG / THERMCO
モデル
5000
ID: 9265354
ウェーハサイズ: 6"
Diffusion furnaces, 6".
SVG/THERMCO 5000は、半導体およびMEMSデバイスの製造に使用されるシングルウェルデジタル拡散炉およびアクセサリです。このモデルは、実績のあるSVG 4000の進化であり、高度な機能と非常に正確な温度制御を提供し、問題なく繊細なプロセスを処理することができます。炉は3つの主要な部分から成っています:1。基板の加熱と冷却を可能にする高周波信号ジェネレータである発電機。2.炉の主体であり、基板を収容するチャンバー。発電機で1,500°Cまで様々な温度に加熱します。3.ユーザーが炉と相互作用するコントロールパネルであるコントローラー。コントローラーは炉の精密な制御を可能にし、SVG 5000のプログラム可能な特徴を収容します。THERMCO 5000の最も重要な特徴の1つは、プログラム可能な温度プロファイルの使用です。これらのプロファイルを使用すると、プロセスの特定の温度サイクルを事前に設定できます。つまり、加熱と冷却サイクル、およびプロセス全体にかかる時間を正確に制御できます。さらに、このモデルは、過熱保護、自動インターロックシステム、緊急シャットオフスイッチなどの高度な安全機能も備えています。5000は基質の柔軟性そして精密制御を可能にするいろいろな付属品および部品と来ます。これらには、固体セラミックマンドレル、温度プローブ、さらにはシリコンウェーハ用の石英プレコートされたボートや、ヒ素ガリウムやリン酸インジウムなどの基板が含まれます。これらのアクセサリーは、ユーザーにプロセス全体をカスタマイズして正確に制御する機能を提供します。全体として、SVG/THERMCO 5000は高品質で信頼性の高い拡散炉であり、繊細なプロセスを処理しながら温度を正確に制御することができます。プログラマブルな温度プロファイルと安全機能により、半導体およびMEMSデバイスの製造およびテストに適しており、利用可能なアクセサリの範囲により、プロセスをカスタマイズできます。
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