中古 SVG / THERMCO 5000 #293758561 を販売中

SVG/THERMCO 5000は、半導体製造および研究用に設計された高性能拡散炉および関連アクセサリーです。この拡散炉は、最高の温度制御精度で有名であり、その結果、さまざまなデバイス部品の製造に使用される高純度の結晶材料の成長のための広く使用されているツールです。SVG 5000は、ガス圧制御の不活性ガス大気を利用した大気急速熱処理・拡散炉です。ガス組成と圧力の両方を制御できる不活性ガス拡散/パージングシステムを備えており、必要に応じて様々なガス組成を使用することができます。不活性ガス雰囲気は酸化を排除し、処理される材料を汚染する可能性があるため、高度な半導体部品の製造に最適です。THERMCO 5000は、異なるサイズのオーバルと長方形に設定できるデュアルヒートゾーンユニットを使用しています。これにより、さまざまなガスフローパターンが可能になり、複数のウエハを同時に処理できるため、スループットが向上します。また、再現可能な特性を持つ高品質の結晶を成長させるために、拡散温度を正確に調整するデジタル温度制御機を備えています。その優れた温度制御に加えて、5000には半導体製造に最適な他の多くの機能があります。それは高い熱拡散性を有し、温度とガスの混合の両方に高い均一性を提供し、さまざまなプロセスに適しています。このツールは、ローディング、アンロード、ウェーハの変更などのルーチン操作に使用できるロボットウェーハ処理アセットを備えています。また、緊急シャットオフ、ドアが開いているときのシャットオフ、および調整可能なスピードヒーターなどの多くの安全機能を備えており、すべてが事故を防ぎ、モデルをオペレータにより安全にするのに役立ちます。結論として、SVG/THERMCO 5000は、多くの半導体および研究アプリケーションにとって理想的な選択肢です。精密な温度制御、ガス混合機能、安全機能により、さまざまなプロセスに高いレベルの性能を提供します。その高効率、信頼性、信頼性により、さまざまな半導体加工に魅力的な選択肢となっています。