中古 SUNRED SRD-TH-091127 #9155398 を販売中
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ID: 9155398
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2010
Alloy furnace, 6"
Manual loader
380V, 15 KVA
2010 vintage.
SUNRED SRD-TH-091127は、半導体業界で使用される基板に高温均一な熱を提供するように設計された拡散炉および付属アクセサリーです。薄膜半導体ウェーハの陽極酸化・加工に最適な大型インテリアチャンバーを備えた、頑丈で産業用グレードの構造を特長としています。拡散炉は、最大1200°Cの合計測定範囲で独立して動作する2つの温度ゾーンを提供します。それは改善された冷却のためのヘリウムの冷却のジャケットを含む空気か水冷システムと結合される3つの管の抵抗発熱体が装備されています。これにより、正確な温度を維持しながら製品を迅速かつ安全に処理できます。拡散炉には、2つの石英ガラス炉チャンバー、パラメータを正確に制御するための内蔵の制御キャビネット、およびデジタル電子PID温度制御が含まれています。さらに、オプションの熱電対およびマルチゾーン加熱素子を備えており、製品を保護します。これにより、プロセスの精度と安全性が向上します。SRD-TH-091127拡散炉はまた便利な使用のためのいろいろ付属品を含んでいます。ガス供給システムと排気システムは、システムを安全かつ効率的に稼働させます。また、自動開閉ゲートバルブ、ウェハローダー、繊細なウェハハンドリング用の特別なウェハレシーバも含まれています。ウェーハローダーと高品質の真空システムは、熱応力を低減し、動きを最小限に抑えるように設計されており、製品の精度を維持するのに役立ちます。また、ウェーハ加工をリアルタイムで見るための高温観察穴も備えています。便利のために、炉に測定を容易にするために部屋の壁で印が付いている口径測定ポイントがあります。SUNREDのSRD-TH-091127拡散炉は作動し易く、維持し、速く、有効な陽極酸化および半導体の処理のための大きい選択です。丈夫な構造と堅牢な機能を備えた拡散炉は、さまざまな産業用途に最適です。
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