中古 SOLITEC VQC-200 #9246336 を販売中

SOLITEC VQC-200は、高純度で非常に高品質の半導体ウェーハを提供するように設計された拡散炉とその付属品です。電気特性、化学特性、光学特性に優れた高純度ウェハの製造・製造に最適です。この装置は、拡散および急速な熱処理チャンバと組み合わせて、最大1350°Cの温度で真空制御された環境で構成されています。このチャンバーは、高級なステンレス鋼と均一な熱流束のための石英コーティングされたベースプレートから構成されています。拡散プロセスは非常に効率的であり、チャンバーを簡単かつ迅速にロードおよびアンロードして生産を合理化することができます。VQC-200は、均一で再現可能な拡散パラメータを備えた高い歩留まりと信頼性の高い操作のために設計されています。安全インターロックスイッチ、過温度保護、短絡保護などの安全機能を備えており、ウェーハ生産において安全な選択肢となっています。さらに、統合された安全警報はあらゆる温度の相違および欠陥および温度の遠足の警報を検出できます。このシステムは非常にユーザーフレンドリーで、製造プロセス全体にわたって拡散パラメータを正確に記録し、監査目的のトレーサビリティを容易にするデータロギング機能を提供します。データを普遍的なCSV形式で自動的にレポートし、共有ストレージエリアにアップロードしたり、さらに処理するために印刷したりすることもできます。さらに、アナライザインターフェイスは柔軟なレシピ定義と視覚的な製品制御を提供します。このユニットはまた、低ノイズ放射で、非常にエネルギー効率に優れています。その再設計された空冷機は、最適な流量とスムーズな温度調節を可能にします。また、SOLITEC VQC-200には調節可能なアルミナチャネルがあり、加熱および冷却プロセスの微調整が正確かつ再現可能な拡散を得ることができます。最後に、VQC-200は完全に自動化されたツールであり、他の拡散炉や関連ツールと容易に統合することができます。これにより、拡散プロセスがさらに簡素化され、セットアップのコストが大幅に削減されます。SOLITEC VQC-200は、制御、高効率、高純度拡散のための優れた選択肢です。