中古 SOLITEC VQC-200 #9246173 を販売中

SOLITEC VQC-200は、高度で高性能な拡散炉とアクセサリーで、正確な精度と均一性を必要とする困難な加工用途向けに設計されています。この高度な炉は、半導体デバイスのウェーハやガラス基板の加工など、さまざまな産業、研究、実験室の作業に使用されています。VQC-200拡散炉は、高精度な結果と最大の生産性を提供するように設計された高性能機能の配列を備えています。高度なデュアルゾーンセラミック発熱素子装置を使用して、処理領域全体にわたって一定で均一な温度を確保します。また、加熱および冷却サイクル中の熱応力を最小限に抑えるために、加工ウェハおよびガラス基板の急速冷却を保証する強力な対流冷却オプションを備えています。さらに、システムの柔軟性により、その場での酸化など、ほぼすべてのタイプの熱処理を優れた精度で炉内で行うことができます。その他の高度な機能には、ウェーハや基板の迅速かつ制御されたロードとアンロードを可能にする自動ハンドリングユニットがあります。この自動ハンドリングマシンは、正確で調整のない配置と位置決め精度を保証します。また、SOLITEC VQC-200には高度な診断機能が搭載されており、炉の性能を監視し最適化することができます。VQC-200は最高のプロセス安全および信頼性を提供するように設計されています。プロセス環境で異常な圧力、温度、またはガスの流れが検出された場合、炉をシャットオフする独自の安全機能を利用しています。SOLITEC VQC-200には、高度なセンサ技術も組み込まれており、幅広いプロセス変数を含むプロセス履歴を監視および記録します。VQC-200拡散炉は、精密加工、最大限の安全性、精度を必要とするものに最適です。その高度な機能は、さまざまなアプリケーションで信頼性の高い処理結果と優れた性能を提供します。高度な診断と自動化されたハンドリングツールにより、ユーザーはパフォーマンスを監視および最適化し、正確さと最大のプロセス稼働時間を確保できます。