中古 SEMCO POCl3 #9142358 を販売中

SEMCO POCl3は半導体デバイス製造に最適な拡散炉です。これは、さまざまな材料の精密かつ高度に制御された熱処理のために設計されています。このシステムは、急速な温度上昇と高度に制御された冷却を提供し、ターゲット材料のガス抜きと酸化を低減します。幅広い材料を正確に処理することができるだけでなく、POCl3は、状態を検証するためのアクティブなモニタリングを備えた自動フォアラインのリフレッシュ/パージ制御も備えています。SEMCO POCl3は、チャンバー内の温度を高精度に測定するHeNeレーザーベースのIRピロメータを提供しています。また、PIDループプログラミングを備えた高度なデジタルPVDFコントローラを提供しており、正確な温度制御とメンテナンスプロファイルを可能にします。このシステムには、危険な条件を削減するのに役立つ自動ソースフィードスルーも含まれています。POCl3は、コールドトラップ、高真空ゲートバルブ、圧力制御システムなど、さまざまなアクセサリーで設計されています。SEMCO POCl3は、精密な温度制御および自動制御システムを提供するだけでなく、温度や拡散プロセスの他のパラメータを分析するために使用できる高精度の熱評価ソフトウェアも備えています。このソフトウェアは、3Dで熱およびゾーンプロファイルを表示し、必要なアプリケーションに最適化されていることを確認するためにリアルタイムでパラメータを修正するために使用できます。POCl3は、長期的な一貫性と信頼性と優れた熱拡散を保証する高精度の水晶チューブ構造を備えています。このシステムは、X線放射に対する保護シールドだけでなく、不要な大気ガスを減らすためのフィルターも提供します。セルの特徴的なブラックボディ設計は、処理中の炉の熱ゆがみを低減し、温度プロファイルを正確に制御するのに役立ちます。SEMCO POCl3は、半導体加工に携わる方々に理想的な拡散炉です。精密で信頼性が高く安全な熱処理を提供し、幅広いアクセサリーと自動化されたシステムにより、さまざまな材料を効果的に処理できます。高度なソフトウェアと徹底した安全規制により、効率的で安全な拡散炉をお探しのお客様に最適です。