中古 POLYFLOW S 620 #9114213 を販売中

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製造業者
POLYFLOW
モデル
S 620
ID: 9114213
ウェーハサイズ: 8"
Omni-clean system, 8" FM4910 2002 vintage.
POLYFLOW S 620は、マイクロエレクトロニクス分野における薄膜蒸着および酸素プロセスを実行するように設計された拡散炉およびアクセサリーです。これは、高純度、高スループット、および費用対効果の高い蒸着プロセスという業界最高の要件を満たすために開発された信頼性の高い堅牢な技術です。S 620は主に金や銅などのコンフォーマルメタリックフィルムの用途向けに設計されています。精密な空気圧制御の雰囲気を持つ不活性チャンバーを備え、再現可能なプロセスで最高品質の蒸着を保証します。また、耐熱性と堅牢な絶縁性にも配慮して構築されているため、機器の部品全体にわたって均一な温度が得られます。これに加えて、POLYFLOW S 620はシステム内の加熱を防止する優れた高周波媒体を備えており、改修前に長寿命が必要です。S 620は競争力のあるモデルよりも多くの利点を提供します。第一に、特定の部品表面における成膜の均一性を最も高め、全体的な材料コストを削減します。さらに、POLYFLOW S 620には、すべてのユニットプロセスを自動制御できる高度なプログラマブルロジックコントローラ(PLC)が装備されています。コンパクトな設計のため、設置面積が非常に小さくなります。さらに、高性能ウェーハ保持装置、真空プロセスランニングツール、キャリブレーションおよび測定ツールなど、プロセス能力と精度を高めるためのさまざまな高度なアクセサリーオプションも含まれています。S 620は安全性にも優れています。非常に低い酸素輸送率、低いガス排出レベル、および不活性環境を特徴とし、非常に安全な動作環境につながり、厳しい業界の安全基準を満たしています。さらに、POLYFLOW S 620には自己完結型の保護アセットが装備されており、万一の故障時にはユーザーの安全を損なうことなくモデルをシャットダウンします。結論として、S 620は、マイクロエレクトロニクス用の部品への金属の拡散のための理想的なソリューションです。その高度な性能特性により、高精度で費用対効果の高いプロセスに最適です。堅牢で信頼性の高い安全対策は、最高レベルのセキュリティを提供します。
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