中古 MRL Phoenix #9076185 を販売中

製造業者
MRL
モデル
Phoenix
ID: 9076185
ウェーハサイズ: 6"
LPCVD Furnace, 6" (3) Tubes: Nitride LPCVD (1) Tube: Poly LPCVD Four tubes with semi-auto boat loader Laminar flow and gas cabinet High temperature element 40" Flat zone Tube1: Nitride (SiH2Cl2, NH3,N2) Tube2: Nitride (SiH2Cl2, NH3,N2) Tube3: Nitride (SiH2Cl2, NH3,N2) Tube4:Tisi.
MRLフェニックスは、さまざまな産業用途において、材料の信頼性と正確な加工を提供するように設計された拡散炉およびアクセサリーです。このシステムは、拡散、酸化、表面成長などのガスおよび蒸気処理用に特別に設計されており、さまざまな金属、セラミックス、ポリマーで使用できます。この独特な炉は1400°Cまで達することができる強力な、高温熱源を特色にします。また、ダイレクトクォーツチューブ雰囲気配達システムが含まれており、内部コンポーネント全体にわたって一貫した均一な拡散プロセスを保証します。大気は特定のプロセスに合わせて調整することができ、酸素、窒素、水素の特定のレベルに合わせて調整することができる。フェニックスは、炉の外側からサンプルに簡単にアクセスできるユニークな簡単な負荷設計を提供しています。サンプルの必要な積み下ろしはすべて、積み下ろし前と積み下ろし中に熱が取り除かれる冷却機構によって行われます。水冷構造と優れた絶縁システムを内蔵しているため、炉は非常に効率的で安定していますが、高性能で高精度な放射コントローラはプロセスの最大限の制御を保証します。さらに、炉の外装は耐久性に優れた堅牢なステンレス鋼で構成されています。拡散炉には、高精度で信頼性の高いデータ読み取りのために炉の内部温度を監視するのに役立つ一連の光熱センサもあります。それらは温度を測定し、炉が安全のままであるように過熱することを防ぎます。炉はまた、サンプルのスケールとテストを容易にすることができる標準的なアクセサリーの範囲と互換性があります。付属品は過熱からそれを保つために炉および温度調節器に入れるべき皿から及びます。全体として、MRLフェニックスは、さまざまな業界で幅広い用途を持っている最先端の拡散炉です。その強力な熱源、高精度で効率的な制御メカニズム、および品質構造とその付属品は、さまざまな産業要件のための効果的なソリューションになります。
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