中古 MRL Phoenix/Thermco 5200 #9210305 を販売中

MRL Phoenix/Thermco 5200
ID: 9210305
ウェーハサイズ: 6"
LPCVD System, 6".
MRL フェニックス/Thermco 5200は、さまざまな産業および実験室のアプリケーションで使用するために設計された拡散炉およびアクセサリーです。高い精度と精度でサンプルを高温に加熱することができます。5200は、熱勾配と均一な温度プロファイルを使用して、反復可能な結果を保証します。窒素雰囲気は、材料の制御と信頼性の高い処理を可能にします。この炉は、内径95 mm、作動深さ100 mmの石英チューブを搭載したグラファイト加熱室で構成されています。MRL Phoenix/Thermco 5200には、環境から1700℃までの電子制御温度も含まれており、最大加熱速度は150℃/minです。温度は、熱電対とサーボモータを使用してクローズドループ装置を介して調整されます。炉はまた暖房室への窒素の流れを調整するデジタル弁を含んでいます。デジタルバルブには、窒素ガスの流れを正確に制御するために、回転ソレノイドとPID制御システムが取り付けられています。流量と温度を制御するだけでなく、加熱室の圧力が窒素ガスの圧力よりも大きい場合には逆流を防ぐためにもバルブが使用されます。炉には、10セグメント調整可能なシース熱電対の2つのペアが装備されており、ユニット内の温度とアークを測定します。各発熱体の温度を監視するために光学ピロメータを使用し、迅速かつ正確な温度測定を可能にします。MRL Phoenix/Thermco 5200は、使いやすい液晶ディスプレイと、簡単で効率的なデータ収集と管理のための自動データストレージマシンを備えています。データをExcelまたは他の互換フォーマットにエクスポートして、さらなる分析と操作を行うことができます。MRL フェニックス/Thermco 5200は、さまざまな用途に適した信頼性と効率の高い拡散炉です。炉の均一な温度のプロフィール、高温正確さ、調節可能な外装の熱電対およびデジタル弁はそれを実験室および産業使用のための理想的な選択にします。
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