中古 MRL Phoenix Model 1012 #9023181 を販売中
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ID: 9023181
4-Stack diffusion furnace, 4"
LPCVD
EBARA pump stack
Replacement quartz tubes
Currently non-operational in a cleanroom
Attached to gas lines.
MRLフェニックスモデル1012は、正確な結果を正確に加熱および冷却する高性能の拡散炉とアクセサリーセットです。小型から大型までのサンプル量に対応できるように設計されており、最大3つの独立した加熱ゾーンに対応するコンパクトでモジュラー設計が特徴です。その温度範囲は周囲温度と1200°Cの間であり、200°C/minまでの加熱および冷却速度を達成することができます。統合された絶縁システムは、処理チャンバ全体にわたって高温と均一な温度をもたらします。モデル1012には、2つのトップローディングドアと簡単にアクセスできる自動リフトオフが装備されています。拡散炉はまた、独自に設計されたガラス繊維断熱システムと加熱素子との直接接触から技術者を保護するためのスマートアクセスドアで強化された安全機能を提供します。利便性を高めるために、このデバイスには直感的なアイコン駆動メニューを備えたユーザーフレンドリーなタッチスクリーンモニターが付属しています。これにより、リアルタイムのフィードバックを提供しながら、動作パラメータのカスタマイズを強化できます。プログラマブルプロセスコントローラは、拡散処理サイクル中に信頼性の高い再現可能な温度制御を提供するように設計されています。Phoenix Model 1012には、温度センサー、加熱素子、耐火るつぼ、保護用モバイルクリーニング器具などのアクセサリーも多数付属しています。また、MRL Phoenix Pyromatchingソフトウェアとも互換性があり、ユーザーは自分のプログラムを作成して保存し、熱プロファイルをすばやくシミュレートすることができます。結論として、MRLフェニックスモデル1012は、汎用性の高い拡散炉とアクセサリーセットです。これは、高精度の加熱と冷却、および信頼性の高い再現可能な温度制御に理想的な選択肢となる幅広い機能と利点を誇っています。自動化されたリフトオフ、直感的なタッチスクリーンモニター、アクセサリーは、さまざまなアプリケーションの専門家に最適です。
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