中古 MRL BLACK MAX #108409 を販売中

MRL BLACK MAXは高性能の拡散炉および付属品です。ウェーハ、基板、集積回路の優れた熱処理を実現するのに最適です。この拡散炉は、均一な均一な温度と均一な冷却を実現するために石英管の加熱装置を利用しています。BLACK MAXの高温機能により、正確で再現性のある信頼性の高い拡散プロセスを実現します。また、高精度な温度コントローラを搭載し、プロセス制御と再現性に優れています。MRL BLACK MAXには、クォーツチューブ加熱システム、ヒーター放射熱ポート、および層間の酸素充填絶縁を備えた硬質絶縁石英チューブが含まれています。この拡散炉は、1400°Cまでの温度で動作することができ、優れた均質性、均一な温度均一性、および優れたプロセス制御を提供します。クォーツチューブ加熱ユニットは、個々の温度制御とディスプレイを備えた3つの加熱ゾーンを使用して、処理される基板が各ゾーンで同じ温度にさらされるようにします。これにより、高性能ウェーハや基板の均一な拡散を確保するために、スパイクや温度低下を回避することができます。BLACK MAXには、拡散プロセス中に基板を適切に冷却するように設計された強力な産業用ファンも付属しています。この産業ファンは、常に優れた冷却を提供するために、ウエハー上に窒素または酸素を循環させます。さらに、ファンはオーブンの外に配置されているため、炉に空気が入るのを防ぎ、汚染を引き起こします。MRL BLACK MAXは、優れたプロセス制御と信頼性を求めている人に最適です。その水晶管の暖房機械は処理される基質が各地帯の同じ温度にさらされることを保障し、強力な産業ファンは適切な冷却を保障します。また、高精度の温度コントローラにより、正確かつ再現性の高い拡散プロセスを実現します。