中古 MRL 814 #9304776 を販売中

MRL 814は、さまざまな熱用途および薄膜蒸着用に設計された高度な拡散炉およびアクセサリーです。拡散炉は、半導体ウェーハ、センサ、薄膜電池、その他の電子部品などの基板上に薄膜を作成するために使用されます。814は優れた制御、動作サイクル、加熱速度、基板全体の均一性を提供し、今日の高温精密薄膜アプリケーションに最適です。MRL 814は、他のほとんどの拡散炉よりも大きく、深い断面チャンバーを使用しています。これにより、基板ホルダーのトッププレートに大きなウェーハを積み込むことができ、非常に均一な加熱が可能になります。814の最大動作温度は約800°Cで、適用圧力範囲は0。1〜3 Torrです。MRL 814のユニークなデザインは、垂直水晶面を使用して、タイトなフットプリントでも均一な加熱を可能にします。このユニットはまた、最も正確で信頼性の高い温度測定を保証するために、デュアル温度センサーを備えています。すべてのFischer Scientific拡散炉と同様に、最適化パッケージは814に含まれています。これにより、プログラムパラメータの制御が強化され、断熱材とヒーターの電力を正確に調整できます。MRL 814は生産性を高めるために多くの付属品を含んでいます。ガス排出用のホース接続が含まれており、ユーザーはラインの経路を変更したり、追加のハードウェアを取り付けることなく、真空ラインをチャンバーに直接取り付けることができます。また、814に含まれている真空過疎システムもあり、チャンバー内の腐食性材料を迅速かつ簡単にクリアするのに役立ちます。MRL 814は、技術の進歩に加えて、2年間の包括的な保証と、拡散炉や薄膜蒸着に関連するすべての事項に精通した経験豊富で知識豊富なカスタマーサービスチームによって支えられています。これを考慮すると、814は信頼性の高い高性能拡散炉とアクセサリーを必要とするあらゆる施設に最適です。