中古 MRL 1024 #9952 を販売中

MRL 1024
製造業者
MRL
モデル
1024
ID: 9952
ウェーハサイズ: 6"
Three stack diffusion furnace, 6" With cantilever loader.
MRL 1024は、さまざまな技術用途向けに設計された拡散炉です。市販されている製品は、加熱チャンバー、真空チャンバー、サンプルホルダー、温度勾配制御装置、付属品で構成されています。暖房室はタイプ300のステンレス鋼から製造され、単一のFE-B5-seriesヒーターを含んでいます。サーマルサイクリングによる腐食や摩耗から内部を保護する窒化物コーティングを備えています。サンプルホルダーはステンレス鋼の溶接棒から成り、処理される材料を支えるように設計されています。真空チャンバーは、拡散過程で生成される揮発性有機化合物(VOC)およびその他の物質のレベルを低減するために開発された特殊設計です。バタフライバルブ、フランジ付き真空コネクタ、熱電対ポートを備えています。バタフライバルブは、大量の空気を交換することなく、気化化学物質をシステムに導入することができます。温度勾配制御ユニットは、サンプルホルダー全体にわたって正確な温度調節を提供します。この機械は均一な暖房および冷却を保障するのに固体リレーおよび化学不活性セラミック絶縁材を利用します。このツールはまた、材料の過熱を防ぐために設計されたオーバーシュート保護機構を備えています。付属のアクセサリーには、サンプル温度のコンピュータ化された読み出し、ガス質量フローコントローラ、発煙スクラバー、スパージャーが含まれます。コンピュータ化された読み出しは、正確な温度測定値とセットポイントを変更する機能を提供します。ガスマスフローコントローラを使用すると、材料を無駄にすることなく、リアクタントの資産への流量を正確に調整できます。発煙スクラバーは拡散プロセスによって発生する排出を減らすように設計され、スパージャーは不活性ガスの流れを部屋に渡して不活性な大気を維持するのに使用されます。全体的に1024は、さまざまな高度な技術アプリケーションで使用するために設計された効率的で効果的な拡散炉です。特殊な部品と付属品は、優れた結果を得るために正確な温度制御と反応剤の正確な導入を提供します。
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