中古 KOKUSAI Vertron III #9242180 を販売中

KOKUSAI Vertron IIIは、信頼性と歩留まりを向上させ、高度な半導体構造を処理するために設計された最先端の拡散炉および関連電源です。Vertron IIIのユニークな設計は、長時間にわたる極めて均一な拡散を可能にし、さまざまな半導体プロセスの改善をもたらします。KOKUSAI Vertron IIIは、市場で入手可能な最高級の合金部品を備えており、多くの拡散プロセスで必要とされる高温で酸素などのガスの移動を加速する独自の内部構造を備えています。これにより、より大きな作業エリア、プロセスの均一性が向上し、長い処理時間にわたって信頼性が向上します。Vertron IIIはまた、組み込み、高度な、ロボットのローディングとアンローディングコンベアシステムを備えています。このシステムは、処理中の炉と炉の間のウェーハの効率的かつ安全な取り扱いと、簡単な操作と制御のための統合されたオートメーション機能を可能にします。この炉には、最高品質の温度均一性と再現性を確保するように設計された7ゾーン、自己調整、精密な液体窒素クエンチシステム、ならびに急速な温度回復と効率的な温度制御が含まれています。KOKUSAI Vertron IIIは、7つのゾーンすべてに対して可変出力で設計されており、異なるプロセス条件での柔軟性を実現しています。この出力は、さまざまな基材やプロセスに最適化されており、あらゆるアプリケーションに最高レベルの性能を提供します。さらに、Vertron IIIは耐腐食性、高純度、ステンレス製の内外面を備えており、多くの拡散プロセスに関連する過酷な環境に耐えることができます。これらの表面は、最も要求の厳しいプロセスで優れた性能と腐食に対する保護を提供するように設計されています。KOKUSAI Vertron IIIは、さまざまなソフトウェアパッケージと互換性があり、ユーザーにプロセスを完全に制御することができます。これらの先進的な機能により、Vertron IIIは高精度の拡散プロセスのための最も厳しい要件を満たすことができ、安全性と信頼性を最大限に発揮します。