中古 KOKUSAI Vertron III #9242178 を販売中

KOKUSAI Vertron III
製造業者
KOKUSAI
モデル
Vertron III
ID: 9242178
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
Vertical diffusion furnace, 8" Anneal 2006 vintage.
KOKUSAI Vertron IIIは、迅速かつ正確なシステムレベルのフィルム蒸着を可能にする拡散炉およびアクセサリ機器です。それは合金、混合物または誘電体システムのための優秀な性能を提供する適用範囲が広く、強力な用具です。幅広いアクセサリーと組み合わせることで、材料研究、製造、開発用途に最適です。その性能は、その機能と機能の汎用性を保証する柔軟性のあるモジュラー設計に基づいています。業界標準の石英ガラス管と完全に互換性のある高度な高速リニアフィードユニットを備えています。これにより、炉の複雑なCrucibleシステムに簡単にアクセスでき、炉全体の温度分布の優れた均一性と精度を提供します。Crucible温度はPCのメインパネルから直接プログラムすることもでき、堆積速度と温度を簡単かつ正確に制御できます。Vertron IIIは、さまざまな化合物および誘電膜に加えて、99。99%以上の精度で合金を堆積することができます。そのパルスバイアスソースのオプションは、比類のない精度と厚さの制御を提供し、薄膜蒸着の研究に最適です。このツールは、再現性と精度をさらに向上させるために、独自のパルスECP (Electron Cyclotron Plasma)オリエンテーション制御アセットを採用しています。オプションの統合リーク検出モデルにより、ガスや蒸気の正確な検出と測定が可能になります。オープンアーキテクチャのプログラマブルロジックコントローラ(PLC)装置は、炉のすべての機能を管理するためにマイクロプロセッサを使用することにより、信頼性をさらに高めます。反復可能なプロセスサイクルを促進するために、KOKUSAI Vertron IIIは高度な分散制御システム(DCS)を採用しており、お客様固有のプロセスやプログラム可能なプロセスに簡単かつ迅速に適応できます。また、リアルタイムの全位置ミラープロットツールを備えており、一貫したプロセス性能を保証します。最後に、アセットは、高度な石英モジュール、不活性な雰囲気のチャンバーやその他の高度なコンポーネントを含むアクセサリーの広い範囲と完全に互換性があります。これにより、エピタキシャル蒸着から化学蒸着(CVD)まで、あらゆる拡散炉プロセスにアクセスできます。全体的に、Vertron IIIは国際電気製の高度で信頼性の高い拡散炉&アクセサリーモデルです。その精度、汎用性、さまざまなアクセサリとの互換性は、材料研究、開発、製造アプリケーションに最適なツールです。
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