中古 KOKUSAI Vertron III / DJ-803V #9242184 を販売中
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ID: 9242184
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Vertical diffusion furnace, 8"
Oxide
Process: LPCVD ONO HTO
System controller: CX2001
SECS/GEM Communication: Load station
WIP Carrier storage, 8"
Wafer spacing: 5.5
Load size: 150 Slots
Boat rotation
Furnace:
Temperature controller: CQ1501A
(4) Zones
Heater type: Mid temp D4EX1048
Process temperature range : 600-625°
Flat zone length: 1200mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: SIC
Tube seal configuration: O-Ring Seal (Viton)
Temperature control methodology: Closed loop (PID)
Thermocouple type: R
Process gases (LPCVD)
MFC: Z4400 / HORIBA STEC
Process gases: SiH4, HCL
Other gases: N2
Process pressure control system:
Vacuum pump: EDWARDS QDP80
Dry pump capacity: QMB 1200
Fore line size: 80
Pressure controller: CX1204
Pressure control methodology: Close loop (PID)
Process manometer
Pressure differential manometer
Pump manometer
Inline cold trap
Exhaust controller
BROOKS SMIF Loader
MIDAS Gas detector
Power supply:
Heater voltage: Single phase, 280 VAC, 42 K A/C
Controllers: Single phase, 100 VAC, 10K A/C
Clean unit: Single phase, 100 VAC, 10K A/C
No N2 purged loadlock
2000 vintage.
KOKUSAI Vertron III/ DJ-803Vは、精密エンジニアリングプロセスのための様々な機能を備えた拡散炉とアクセサリーです。はんだ付け、熱処理、焼結、ろう付け、接合などのプロセスの効率と精度を高めるために設計された熱処理ツールです。DJ-803Vは、最新の技術の進歩で設計され、製造されています。その機械的な動きと駆動システムは、ユーザーの疲労を軽減し、必要なプロセスに合わせて運動パターンを修正するように設計されています。拡散炉は、高品質で耐久性のある材料で作られており、要求の厳しいアプリケーションで使用することができます。この炉には、温度の一貫性を維持する高度な設計部品が装備されており、一貫した加熱速度は0。1〜20C/min、冷却速度は10〜150C/minです。また、高度な高精度センサ、高度な熱監視、および正確な温度制御を確保するための自動温度コントローラを備えています。このDJ-803Vは、最大0.01Cの温度測定精度も向上しています。拡散炉には、マイクロマニピュレーター、アブレーションプローブ、チップリフト、配線メカニズムなどの機能を向上させるためのさまざまな追加アクセサリも装備されています。多目的チャンバーは、超微粒子操作からプラズマポリマーフィルム製造まで、幅広いプロセスが可能です。マイクロマニピュレータは、マイクロアセンブリとコンポーネントの精密な操作を可能にし、アブレーションプローブは材料の効果的なマーキングとエッチングに使用できます。DJ-803Vはまた、ユーザーのための安全機能を提供します。それに絶えずプロセスの安全を監視する複数の安全センサーがあり、あらゆる温度が作動限界を超過すれば警報信号をユーザーに与えます。さらに、高温監視センサー、自動遮断、加熱損失防止システムなどの防火対策を装備しています。その先進的な機能に加えて、KOKUSAI VERTRON III DJ-803Vは、よく設計されたエアフローシステムにより、チャンバーとプロセスチャンバー全体に均一な温度分布を保証します。これにより、拡散炉の寿命を最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えながら一貫した信頼性の高い性能を維持できます。特徴の組合せによって、Vertron III/ DJ-803Vは厳密な温度調整および正確さを要求する適用のための完全な拡散炉です。
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