中古 KOKUSAI Quixace #293600391 を販売中

KOKUSAI Quixaceは、研究開発、教育研究所、商業生産に使用される拡散炉およびアクセサリー製品です。ウエハレベルの真空アニーリング装置で、酸化、窒化、熱アニーリング、酸化乾燥など、幅広い拡散プロセスに適しています。拡散炉は1500°Cまで温度を支えることができる独特なアニールの部屋から成っています。最大3つのチャンバを同時に3つのウェーハ処理に使用できます。Quixaceのグラファイト繊維によって補強されるプラスチックキャビネットは熱の有効な消滅を保障するために非常に信頼できる絶縁材を提供します。炉は78％のアルミニウム、19％の銅および3％のアルミホイルから成っている拡散の反射器を熱および酸化プロセスが均一に配られることを保障するのに使用します。反射器はまた、プロセスで生成された高温から機器を保護します。その他、最適な結果を得るための機能として、サンプル表面の温度均一性± 3C以下にするエアギャップヒートシールドがあります。手動の熱制御とタイマーは、両方とも手順を監視するためにセットに含まれています。KOKUSAI Quixaceには、アニーリングプロセスの安定性を維持するための真空装置もあります。ルーツ型ルーツ真空ポンプと拡散ポンプを組み合わせた多段式ロータリータイプのポンプです。このシステムは、1 x 10-3から5 x 10-3 Torrの真空範囲を維持するのに役立ちます。さらに、排気ユニットはプロセス中の酸素含有量を制御するのに役立ち、チャンバーからガスを除去するのにも役立ちます。高品質な性能を維持するために、複数のセンサーも機械に組み込まれています。熱電対センサ、圧力センサ、およびチャンバー内の温度、圧力、流量を制御する質量流量センサで構成されています。また、アニーリングプロセスの安定性を確保し、損傷を防ぐために動作する高度な安全ツールを備えています。Quixaceは、信頼性が高く、保証された結果を提供するため、研究開発、教育研究所、商業生産にとって貴重なツールです。アニーリングプロセス中に一貫した精度と安定性を提供し、ユーザーは正確な結果を得ることができます。