中古 KOKUSAI Quixace II #9384022 を販売中

KOKUSAI Quixace II
製造業者
KOKUSAI
モデル
Quixace II
ID: 9384022
Vertical furnace Process: ALD TiN.
KOKUSAI Quixace IIは、最先端の高性能な拡散炉と補助装置です。産業用途向けに設計されており、拡散プロセスが必要なウェーハ製造やその他のアプリケーションで最高品質の性能を提供します。KOKUSAI QUIXACE-IIは、様々な用途に合わせて様々なオプションやアップグレードが用意されており、特定のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。炉自体は、4つの石英タングステンハロゲンランプによって加熱される直径6インチの真空チャンバーで構成されています。ランプは、プログラム可能な熱強度とサイクル動作で、200C-1050Cの温度範囲を提供します。Quixace IIには、ガス注入と排気システムが装備されており、正確なガス濃度制御を容易にするだけでなく、ランプやアクセサリーの迅速な交換のための充電装置も備えています。操作に必要な補助機器には、オペレーターコンソール、ガスパネル、組み込みパソコンがあります。オペレータコンソールは、オペレータがプログラム可能な動作値を選択して入力できるようにするために使用され、ガスパネルは拡散ガスを正確に制御します。組み込みパーソナルコンピュータは、レシピをプログラムして保存するために使用され、リモートPCからシステム全体を制御できる高度なネットワーキング機能を提供します。Quixace IIはまた、プロセスと結果のテストと監視を容易にするために、さまざまな接続および感覚ポートを提供します。このポートは、熱電対、バーコードリーダ、マスフローコントローラ、3Dプロファイル、およびその他のさまざまなリモートセンシングデバイスに接続できます。さらに、QUIXACE-IIは、圧力センサ、リミットスイッチ、ヒートセンサー、緊急シャットオフスイッチなど、包括的な安全機能を備えています。安全システムは、緊急または故障した場合にユニットを無効にするように設計されています。KOKUSAI Quixace IIは、高い性能と安全性を提供する卓越したマシンです。広々としたモジュラー設計と幅広い付属機器を組み合わせたことで、産業や研究現場での拡散加工に最適です。KOKUSAI QUIXACE-IIは、堅牢な構造と信頼性の高い動作により、あらゆる拡散プロセスにとって貴重なツールです。
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