中古 KOKUSAI Quixace II #9382773 を販売中
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ID: 9382773
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2014
Vertical LPCVD Furnace, 12"
Model: DJ-1206VN-DF
Process: Si3N4 / Multi
(2) FOUP Robotic loading stations
Precursors / Reagents / Catalyst: DCS, Ammonia, Water
Purge gas: Nitrogen
Cleaning gas: Nitrogen tri-fluoride
DC Power supply: 24 VDC, ±15 VDC
(6) Boxes
Gas
Power
Bonnet
Heater
Power sub-systems:
Vacuum gauges
Sensors
Compressed air valves
PLC I/O (Analog and digital)
Device net
Ethernet and MFC’s
Does not include:
QUARTZ Boat
Reactor
Adiabatic plate
Pump
scrubber
Associated components: Mounting nuts and bolts
Power supply:
480 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 250 A
120 VAC, Single Phase, 60 Hz, 60 A
2014 vintage.
KOKUSAI Quixace IIは拡散炉とアクセサリーで、高品質な部品を一貫して製造するのに最適です。KOKUSAI QUIXACE-IIは、幅広い材料との最大限のプロセス制御、信頼性、互換性を提供するように設計されています。Quixace IIは、一貫した加熱と冷却を保証する効率的なサーマルシステムを備えています。高精度の石英熱電対を使用して処理温度を監視および制御し、プロセスの均一性を確保します。専用の制御システムにより、正確な温度分布を記録および維持することができ、高性能アプリケーションや大量生産要件に最適です。また、QUIXACE-II拡散炉はコンパクトな設置面積を誇り、容易な搬送と設置に便利なポータブル炉です。様々な環境条件や様々な危険性のあるガスで動作することができます。この炉には、拡散プロセス中のガスの流れと組成を監視および調整する統合ガス制御システムも装備されています。これにより、正確な拡散率と正確な組成制御が保証され、生産性が向上します。また、ガスボックスやガスサンプリング装置などの各種アクセサリーも搭載しています。最後に、KOKUSAI QUIXACE-IIは、トリプルロックエンクロージャや緊急停止ボタンなどの包括的な安全機能を備えています。これらの特徴は、安全で効率的な拡散プロセスを保証し、有害ガスや粒子汚染物質が環境に放出されるのを防ぎます。全体として、Quixace IIは優れた性能と信頼性を提供する汎用性の高い拡散炉とアクセサリーです。これは、均一で高精度な拡散プロセスと大量の生産要件を利用したい人にとって理想的なソリューションです。
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