中古 KOKUSAI Quixace II #9382771 を販売中
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販売された
ID: 9382771
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2014
Vertical LPCVD furnace, 12"
Model name: DJ-1236-DF
Process: ALD SiO2
(2) Robotic FOUP loading stations
Precursors / Reagents / Catalyst: Pyridine, HCD, Water
Purge gas: Nitrogen
Cleaning gas: Nitrogen Tri-fluoride
DC Power supply: 24 VDC, ±15 VDC
(7) Boxes
Power box
Gas box
Source/Bubbler box
Bonnet
Heater
Refill stations
Tweezers
EDA Box and cover
Front end exhaust damper cover
Bridge includes SSR
Power cables included
Boat plates and screws
Heater upper doors
Water dead man panel
Manual
L/A Exhaust and elbow
Handy terminal
(5) Foreline cages
Gas box elbow
Foreline clamp box
Cable duct [L/A crossover]
Loose gas line and flex lines
RHC Exhaust duct and panels
BG Lines
RHC Metal flex duct
RHC Metal duct cover
Connecting duct
Tube flange
Exhaust pipe
Exhaust union
Injector heaters
RHC Damper packing
RHC Damper block
RHC Adiabatic blocks
Injector stand offs
TC Stand off
Flange clamp insulators
Heater insulators
(2) Fore line clamps
(2) Teflon cushions
Tweezers
Fore line clamp bolt
Teflon tube pins
Joint plate assembly
Axis fixing jig
Front body support jig
Utility support jig
Buffer rack support jig
Power sub-systems:
Vacuum gauges
Sensors
Compressed air valves
PLC I/O (Analog and digital)
Device net
Ethernet and MFC’s
Does not include:
Pump
Scrubber
Capacitance manometer
Precursor bottles or connecting lines
Missing parts:
QUARTZ Boat
Reactor
Adiabatic plate
Mounting nuts and bolts
Power supply:
480 VAC, 60 Hz, 300 A, 3 Phase
120 VAC, 60 Hz, 30 FA, Single phase
2014 vintage.
KOKUSAI Quixace IIは、プロフェッショナルなグレード材料加工のための費用対効果の高い信頼性の高いソリューションとして開発された革新的で高性能な拡散炉および装置です。強力で効率的なモーターで構築されたこの高品質の炉は、幅広い材料の迅速かつ効率的な熱処理を保証します。ステンレス製の構造とセラミック絶縁システムは、温度精度を維持しながら熱損失を最小限に抑え、基材の加熱も可能です。この炉は、デジタルPLCとタッチフレンドリーなHMIを備えており、ユーザーフレンドリーな操作と正確な温度制御を可能にします。直感的でパワフルなコントロールユニットは、異なる材料のカスタム温度プログラミングを可能にすると同時に、迅速な調整と設定の正確な監視を可能にします。さらに、炉にはリアルタイムのフォルト保護装置が装備されており、異常温度や条件が検出されたときにオペレータに警告します。同梱の冷却ツールも高効率で、低温および高温レベルを内蔵しており、過度の温度による損傷から処理される材料を保護するように設計されています。特別に設計されたオープンエア構造は、炉の内部コンポーネントの露点関連腐食も大幅に低減します。また、KOKUSAI QUIXACE-IIは、取り外しが容易なアクセサリーを幅広く取り揃えており、更なるカスタマイズが可能です。チャンバーは透明な観察窓で構成されており、最高温度の用途に使用可能な石英ガラスモデルがあります。低熱質量、高熱質量、高アルミナ繊維のオプションなど、さまざまな操作に適したさまざまな絶縁構成が利用可能です。その他、4点式プローブハーネス、水位センシング、冷水浄化ユニットなどのアクセサリーもご用意しています。要するに、Quixace IIは、高性能、信頼性、経済的な拡散炉ソリューションを探している専門家にとって理想的な選択肢です。その効率的な電源、直感的な制御モデル、優れた冷却能力とアクセサリーの範囲は、加工材料の最大の効率と信頼性を求める人のための理想的な選択肢になります。
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