中古 KOKUSAI Quixace II #9027427 を販売中
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販売された
ID: 9027427
ウェーハサイズ: 12"
Vertical furnace, 12"
Single tube
Product load size: 125
Rapid Heating / Cooling (RHC)
Boat rotation
SEMI S2-0200E compliance
Main and sub (rear) operation controllers
Main controller: CX5000
SEMI EDA capability
Dual boat 125 WLS
Integrated Gas System (IGS) type: Fujikin 1.125"
RHC1 upgrade
Quartzware (1st set)
Rear operation panel
(2) Hard gas pattern panels
HPM (toxic gas) interlock
POD ID reader (AdvanTag GATEWAY HSMS)
OHT capability
Exhaust APC
Boat rotation type: N2 purged rotation
Self gas cleaning
EEMS CX-9800 server capacity and license
Options:
Canister (BK1200) for TiCl4
Bubbler (VG600W).
KOKUSAI Quixace IIは、炉の温度パラメータを正確かつ正確に制御できるように設計されたハイテク拡散炉およびアクセサリーです。このヘビーデューティ生産装置は、酸化物、窒化物、炭素基板拡散プロセスを含む幅広い産業プロセスに適しています。堅牢な構造は、1200°C (2192°F)までの広い動作温度範囲を持つ堅牢なスチールフレームで構成されています。高度なPID温度コントローラは、自己調整調整システムを備えており、正確な熱源の移動と温度メンテナンスを保証します。国際QUIXACE-IIは、タイムステップ制御とリアルタイム温度監視により一貫した温度整合性を提供し、製品の歩留まりと精度を向上させます。オプションのクォーツカウンターと組み合わせることで、加熱モードと冷却モードの両方で機能し、より速いサーマルサイクルを可能にします。炉は本管力によって動力を与えられ、ユーザーの安全のための緊急停止機能が装備されています。2段式磁気安全スイッチ機構、圧力制御用の圧力スイッチ、低温維持用の冷却ファン、安全な均質熱処理のための防炎扉を装備しています。この洗練された生産単位は便利のための複数の自動化された機能を特色にします。内部容量が大きいため生産性が向上し、人間工学に基づいた作業面により、拡散プロセスを容易に管理できます。Quixace IIは、温度を正確に制御するためのさまざまな材料をサポートしており、高い安全基準を備えたセルフモニタリングマシンを備えています。高度な圧力制御ツールは、コストを削減しながら、エネルギーを節約することができます。この資産は、最大の安全性と最大の効率のために設計されており、工業用拡散炉に最適です。
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