中古 KOKUSAI Quixace II #293824702 を販売中
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ID: 293824702
Vertical furnace
Mainframe
Application: BIO (Biotech / Biosensor / Specialty Processing).
KOKUSAI Quixace IIは、半導体部品の産業用クリーンルーム処理用に設計された拡散炉とアクセサリーの広範なラインです。拡散炉は、集積回路の製造メーカーにとって不可欠なツールであり、チップ部品の製造と性能向上を可能にします。KOKUSAI QUIXACE-IIは、高精度温度制御を実現し、素材の高速スループットを実現する完全自動化された装置です。この炉には、システム全体に均一な熱分布を提供する高精度で均一な流れの電気発熱体が装備されています。ユニットの他のコンポーネントには、冷却装置、不活性ガス制御機械、およびクエンチチャンバーがあります。Quixace IIは、垂直および水平の均一性を向上させて設計されており、より高い均一な温度性能を実現しています。この炉はまた、エピタキシーフィルムの性能を向上させるために最適化されたプロセス条件を可能にします。QUIXACE-IIは、スループットと精度を向上させるための高度なモーションコントロールとフィードバックループを提供する内蔵マイクロプロセッサで構成されています。モジュール設計と高度なオートメーションにより、柔軟性が向上し、プロセス間の迅速な切り替えが可能です。このツールはまた、金属、セラミックス、窒化物などのさまざまな基板サイズと種類に調整します。この炉には、ウェーハを輸送するためのキャリアが内蔵されているほか、圧力を調節し、化学汚染を最小限に抑える自動スライドドア機構が装備されています。KOKUSAI Quixace IIは、半導体製造装置において最高の選択肢であり、高い温度の均一性と高い信頼性を備えたスループットを提供します。これにより、製造メーカーは、半導体部品の生産時間の短縮と収率の向上を利用することができます。
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