中古 KOKUSAI Quixace II Poly #293822422 を販売中
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KOKUSAI Quixace II Polyは今日の半導体産業のために設計された拡散炉および付属品です。高性能な集積回路やその他のデバイスを他のシステムよりもはるかに高速なサイクルタイムで製造するように設計されています。Quixace II Polyは、炉のガス流を使用して均等に拡散源または基板材料を使用して所望の構造またはデバイスを形成するバッチプロセス炉です。KOKUSAI Quixace II Polyは、シングルランとマルチランの2つの独立した動作モードで設計されています。シングルランモードでは、すべてのプロセスガス、開口部、発熱体が単一のプロセスランで使用されます。マルチランモードでは、1つの拡散炉で複数のプロセスを実行できます。各プロセスの実行中に、ユーザーはパフォーマンスを最適化するためにフラックスレート、ランプレート、およびその他のパラメータを選択することができます。Quixace II Polyには、熱制御装置が内蔵されており、炉の温度を自動的に監視および制御して、正確な沈殿物の沈殿と均一な拡散を保証します。正確な温度制御システムは、高度なPID、 PID_TI、および/またはFuzzy Logicsを使用して、温度を所望の設定に素早く調整します。KOKUSAI Quixace II Polyは精密な製造プロセスのための精密な圧力、温度および流量制御を提供します。その自動監視ユニットは、均一性を最大化し、リアルタイムのフィードバック情報を提供するためのフィードバックを提供し、正確なセットポイント値に圧力、温度、フラックスレートを制御します。ガスセーバー機能は、高効率と低消費電力のための正確な制御を提供します。Quixace II Polyには、効率を向上させ、処理時間を短縮するためのローディングマシンが含まれています。これには、ローディングステーション、アンローディングステーション、ウェーハハンドリングツール、および複数のローディングカルーセルシステムが含まれます。改良された負荷資産は、より高い再現性、摩耗と破損の減少、より良い歩留まり、より効率的な処理時間を提供します。さらに、KOKUSAI Quixace II Polyは、メンテナンスと長寿命のために設計されています。簡単にアクセスできるフロントパネル、取り外し可能なトップパネル、取り外し可能なオーブンとウェーハ転送モデル、およびメンテナンスとサービスコストを削減するモジュール式加熱装置で設計されています。全体として、Quixace II Polyは半導体産業のための効率的で信頼性の高い拡散炉とアクセサリです。それは正確な温度、圧力および流量制御、改善されたローディングシステムを処理時間を減らし、長い生命のための容易な維持提供します。高性能な集積回路やその他のデバイスを一貫した結果で製造するように設計されています。
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