中古 KOKUSAI Quixace II NITRIDE #9182061 を販売中
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販売された
ID: 9182061
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Vertical LPCVD furnace, 12"
Cartridge heater
Heater control
Over-temperature
Thyristor unit for control
I/O Shutter stage: AGV / PGV / OHT Stage
FOUP Loader
Rotation FOUP storage
FOUP Opener
Wafer detection
Wafer transfer
Variable wafer pitch converter
Boat elevator
Boat changer
Furnace port shutter
Boat rotation
AWTC Port
Flange-upper
Flange-lower
Quartz boat
Quartz outer tube
Quartz inner tube
Quartz adiabatic plate
Quartz boat fixing ring
Quartz nozzle 1: D4CN55589
Quartz nozzle 2: D4KN31319#D
Quartz boat fixing ring
Quartz boat
Quartz outer tube
Quartz inner tube
Quartz adiabatic plate
Quartz nozzle 1: D4CN55589
Quartz nozzle 2: D4KN31319#D
Quartz nozzle 3: D5CP15682
Quartz nozzle 4: D5CP15683
Quartz nozzle 5: D5CP15684
Quartz boat fixing ring
SiC Boat
Quartz outer tube
SiC inner tube
SiC adiabatic plate
Quartz nozzle 1
Quartz nozzle 2
Quartz boat fixing ring
Gas unit (IGS): D4VX38302
Tape heater:
Gas pipe 1: D4EX19130
Gas pipe 2: D4EX19131
Diffuser: D4CX33281
Mass flow controller: FC-PA785T-BW-TC Series
Filter: WGSLS Series
Regulator: PGM Series
Pressure gauge: ZT16-S01
Hand valve: MMGD5-11D-W Series
Check valve 1: MCGP5-F1X1 Series
Needle valve: MMGD5-11D-W Series
Air valve: MAGD5 Series
Connection & fittings: VCR / UPG / SWG
MFC 1: NH3, 0.5SLM
MFC 2: N2, 30SLM
MFC 3: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 4: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 5: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 6: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 7: NH3, 2SLM
MFC 8: NH3, 0.5SLM
MFC 9: NH3, 0.3SLM
MFC 10: NH3, 0.3SLM
MFC 11: NH3, 0.3SLM
MFC 12: NF3, 1SLM
Vacuum sensor (VG11): 1000 Torr
Vacuum sensor (VG12)
Vacuum sensor (VG13): 2 Torr
Vacuum sensor monitor
Main valve: VEC-SHA8-X0327
Exhaust piping: D4CX38671
Exhaust dilution line: D4CX38671
Reactor tube press leak line: D4CX38671
Jacket heater: 150° C
Exhaust pipe: 150° C
Process effluent trap: MKS
Baratron vacuum calibration port
Inlet flange heater: ESH-12964-01
(2) Injector port heaters:
ESH-12965-01
ESH-12966-01
Seal cap heater: ESH-12450-02
O2 Monitor / Detector
FOUP Opener system
N2 Purge system
Load area MFC
Loading area
Furnace port
Radiator
Filters:
Carbon / Chemical 1 filters
Carbon / Chemical 2 filters
Carbon / Chemical 3 filters
Main operation controller: SW Rev 01.05.05
EDA Controller: SW Rev 01.00.02
DDC Temperature controller: SW Rev 06.00.00
Process module controller: SW Rev 01.05.05
Wafer handling controller: SW Rev 02.04.06
(2) FOUP I/O
FOUP RFID Reader
Wafer mapping sensor: F3M-S1225
FOUP Sensor: E3T-ST11
SECS/GEM Communication: SW Rev 06.01.02
Includes:
Hazardous gases
Manual
Shut off valve
Lock out / Tag out
Electrical: Lock out / Tag out
Robot: Lock out / Tag out.
KOKUSAI Quixace II NITRIDEは窒化物処理のために特別に設計された拡散炉です。これは、窒化物の層の堆積のための効率的で信頼性の高いツールであります、だけでなく、様々な金属や他の材料、基板上。高度な設計とモジュール構造により、生産プロセスの柔軟性が向上します。炉の高度の窒素の注入装置はすべての窒化物プロセスが必要な管理された環境内で遂行されることを保障します。このシステムは調節可能であり、各基板の特定のプロセス要件に合わせて調整することができ、優れた窒化物の品質と信頼性をもたらします。このユニットはまた、拡散温度と時間を正確に制御し、反復可能で一貫した結果を得ることができます。炉の高性能は、幅広い用途のアクセサリーによってさらに補完されています。これらの中には、高速プロセス起動のための迅速なポンプダウンマシン、高温アニーリングのためのタイトリングボックスチャンバー、および迅速な冷却を容易にするための蓋ボックスオーブンがあります。付属の自動ガス制御ツールは、窒化物プロセス用に複数のガスを前処理する機能をユーザーに提供します。Quixace II NITRIDEは、安全な環境を維持するためのさまざまな安全機能も備えています。これらには、マルチポイントアラーム資産、インターロック診断モデル、およびプロセス監視装置が含まれます。すべてのこれらのシステムは、ユーザーが蒸着プロセス中に炉の完全な制御を維持できることを保証します。KOKUSAI Quixace II NITRIDE拡散炉は窒化物の処理のための高度で、信頼できる用具および他の材料の範囲です。その窒素注入制御システム、アクセサリーの広い範囲、ユーザーフレンドリーな操作は、この種の最も効率的で信頼性の高い拡散炉の1つに貢献しています。その利用可能な安全機能と組み合わせると、それは産業用途の広い範囲のための完璧なツールです。
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