中古 KOKUSAI Quixace II Doped Poly #293818354 を販売中

KOKUSAI Quixace II Doped Polyは、最新の半導体デバイス技術の安定した信頼性の高い生産のために設計されたハイテク拡散炉およびアクセサリ機器です。このシステムには、400 mmマルチゾーンチューブ炉、基板ヒーター、ガスボックス準備ステーション、真空処理アンモニアリーク検出器、および配送ライン付きの複数のガスボックスが含まれています。この炉は、耐熱性と耐食性に優れたステンレス鋼で構成されており、シンプルで効率的な機械構造により、経済性、品質、効率性を追求するお客様に理想的な選択肢となっています。マルチゾーンチューブ炉は、独立した精密温度制御、均一な温度分布、および正確なサーマルサイクルプロセス制御を備えた8ゾーンの熱制御ユニットを備えています。炉の管は優秀な熱効率のための二重層の水晶コーティングからなされます。管の端には特別なノズルが取り付けられており、壊れやすい部品の歪みや損傷を防ぎます。チューブには、チューブ内部を直接見るための石英窓も装備されており、ほこりやその他の粒子からの汚染を防ぐためのフィルターが内蔵されています。基質のヒーターは2000°C。まで基質を熱するQuixace IIのドープされた多との使用のために設計されています。本体サイズはコンパクトで設置時間を最小限に抑えます。独自に制御された2つの熱段階と、均一な加熱のための基板上の均一で一貫した空気の流れのための高性能ファンが付属しています。ガスボックス準備ステーションは、最も厳しい半導体製造環境のニーズを満たすために建設されています。窒素貯蔵ボトル、2つの独立したガスライン、便利なCGA接続ポート、簡単な制御インターフェイスが装備されています。窒素ボトルは、基板製造プロセスに必要な窒素の流れを維持するために使用できるだけでなく、予期しない電力中断が発生した場合のフェイルセーフなバックアップ電源としても使用できます。真空処理アンモニアリークディテクタは、危険なアンモニア蒸気の検出を提供する効率的で信頼性の高いアンメーターマシンです。最大3つの独立したチャネルと内蔵の制御およびインフレーションツールを使用すると、この検出器は、10 ppmまでの調整可能な範囲でアンモニアの潜在的な放出を簡単に検出してアラームすることができます。KOKUSAI Quixace II Doped Polyは、高度な半導体生産のニーズに対応する最適なソリューションです。最先端の機能と堅牢な設計により、この資産は、効率的なプロセスのスループットと製造された製品の品質を保証する信頼できるプラットフォームを提供します。