中古 KOKUSAI Quixace II CURE #9351283 を販売中

KOKUSAI Quixace II CUREは、半導体デバイス製造およびナノテクノロジーの研究開発に最適な最先端の拡散炉およびアクセサリーキットです。それはワークのローディングおよび荷を下すことを容易にするためにバッチ版のローディングおよび索引付けのために設計されています。Quixace II CUREは、さまざまな高性能な機能を備えており、チャンバー全体で非常に高精度な温度均一性を実現し、熱酸化や二酸化ケイ素の蒸着などの最適な精密処理を可能にします。KOKUSAI Quixace II CUREは、生産スループットを向上させるための複数サイズのカセットを受け入れることができるモジュラーワークチャンバーで設計されています。内部の部屋は部屋の均一な暖房を保障するためにモジュラーグラファイトヒーターで組み立てられます。温度はデジタル読み出しによって監視され、接続されたコントローラで自動操作と複雑な設定制御が可能です。また、背圧とプロセス雰囲気の両方を管理するためのオンボードガス排気も備えています。圧力監視、過熱保護、およびシステムの急速な緊急停止のためのアラーム連動など、包括的な安全機能も組み込まれています。Quixace II CUREは、シリカチタン被覆石英板を使用したアクセサリーオプションとして、片面アッシングチャンバーを備えており、残留物の洗浄と除去が容易です。Ashing Chamberは、チャンバーとワークピースの両方をashingプロセスから保護するために加圧され、均一性を最大化し、歪みを防ぐように設計されています。効率的なガスアンプル積載ユニットであり、部品は接点を最小限に抑え、手動で移動するサブシステム部品を削減するように設計されています。KOKUSAI Quixace II CUREは、精密加工と均一な加熱が必要な場合に最適です。ナノテクノロジーの研究開発のための複雑な構造や半導体デバイスの製造に非常に有益です。それは非常に精密な機械であり、温度の均等性および安全特徴はそれに精密熱処理を必要とするあらゆる適用のための主要な選択をします。