中古 KOKUSAI Quixace II Anneal #293822421 を販売中
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KOKUSAI Quixace IIアニールは、半導体デバイスの製造に使用される拡散炉およびアクセサリ機器です。これは、最高のプロセス性能要件を満たすように設計された革新的な熱処理システムです。このユニットは、最先端の技術を使用して、最も困難なプロセスでも優れたアニーリング結果を提供します。真空成膜チャンバーとアニーリングチャンバーを備えています。真空蒸着チャンバーは5 x 10-7 torrまでの真空レベルが可能で、金属化層の堆積物に使用されます。工具のアニーリングチャンバーは、メタライゼーション層とデバイス構造の再結晶化に使用されます。それは制御された大気の高温でアニールを可能にする赤外線ランプが装備されています。Quixace IIアニールは、アルミニウムおよびアルミニウムリチウムシステムの熱拡散を最小限に抑えるように特別に設計されています。フィードバックループ付きの制御アセットを備えているため、プロセス時間とともに精密な温度プロファイル制御が可能です。このモデルはまた、廃棄物の削減に役立つ活性ガスと不活性ガスのリサイクルを可能にします。アニーリングチャンバーには、コンピュータ化されたプロセス制御装置も装備されており、オペレータはプロセスパラメータを監視し、精密に調整された反復可能な範囲内でアニーリング温度を維持することができます。モニタリング機器は、熱と気体の流れを適切に分散およびバランスさせ、正確で再現可能な熱処理を一貫したプロセス結果と優れた製品信頼性で実現します。KOKUSAI Quixace IIアニーリングシステムは、革新的な技術により、半導体デバイスの生産において強力なツールです。これにより、生産者は一貫したプロセス結果を得て、高温での金属化層とデバイス構造を迅速にアニールすることができます。このユニットはまた、生産者がエネルギー消費を削減し、環境の危険を排除し、廃棄物を削減するのに役立ちます。それはあらゆる半導体デバイスの生産環境のための理想的なアニーリング機械選択です。
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