中古 KOKUSAI / HIKE Vertex DD-803V #293592871 を販売中

KOKUSAI/HIKE Vertex DD-803Vは、工業用拡散炉および関連アクセサリーです。半導体業界向けに設計されたこのDD-803Vは、デバイス製造時のエピタキシャル層の形成とウェーハの熱酸化に使用されます。それは急速な熱アニーリングおよび急速な冷却のためによく適しています。このDD-803Vは、プロセスの再現性と信頼性を考慮して設計されており、最大動作温度は1,400°C、急速冷却速度は-5°C〜+150°C/秒です。統合拡散発熱体は、窒化ホウ素（BN）セメントベースのセラミックジャケットとタングステン発熱体を利用しています。この組み合わせは、優れた熱均一性、高速加熱および冷却速度、および改善されたウェーハプロセスの均一性を提供します。炉は最高の温度の安定性を提供するために絶縁材装置が付いているステンレス鋼の材料から組み立てられます。真空チャンバーは316/304グレードのステンレス鋼で構成されており、任意の熱分解ホウ素窒化物（PBN）ライナーで粒子汚染を低減します。DD-803Vには、プロセス制御コンピュータとプロセスを管理および監視するためのヒューマンマシンインターフェイス（HMI）が装備されています。この最先端のシステムは、チャンバーの温度と圧力、およびenステーションのプロセスユニットデータの監視を特徴としています。HMIには、オペレータのエラー、異常動作状態、高炉温度に対する保護インターロックの配列が含まれています。DD-803Vには、排気機、ハンドルロードボックス、プロセスロードカセット、石英ボート、豊富なプロセス機器など、さまざまな補助アイテムも含まれています。ツール全体は使いやすさとメンテナンスのために設計されています。全体的に、HIKE Vertex DD-803V資産は、デバイス製造の正確かつ再現可能なプロセスを可能にします。このDD-803Vは、交換可能なモデルアーキテクチャと高度なプロセス制御により、半導体デバイスの高度な製造に最適です。