中古 KOKUSAI / HIKE DD-803V #293592960 を販売中
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ID: 293592960
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1990
Diffusion furnace, 8"
Process: H2 Anneal
Heater door set
Front upper door
Cooling line
(3) Gas lines
Cover set
Radiator
RCU Support / Cover
Pandent
Control box
Gas box
Burning box
Heater
Front upper cover
Heater top cover
Cassette stage
(2) Parts boxes
(3) Quartz boxes
SUS Plate
Foot plate
MP
DP
Pump rack
ULVAC PMB6CM Mechanical pump
HITACHI CSV-5Z4C Dry pump
Blower box
Detector box
1990 vintage.
KOKUSAI/HIKE DD-803Vは、ユーザーに最高品質の拡散プロセスと印象的な均一性を提供するように設計された、幅広いアクセサリーを備えた高度で信頼性の高い垂直拡散炉です。それは連続的な縦の拡散プロセスでプロセスを通して高精度および均質のプロフィールを保障するのに使用することができる機械コンベヤーアセンブリを特色にします。HIKE DD-803Vには、強制対流ファンをベースにした冷却システムが内蔵されており、均一で一貫した冷却を保証し、優れた性能を発揮します。炉は安定性および信頼性を提供するために堅牢なステンレス鋼材料から成っています。鋳造されたモリブデン熱源のおかげで、温度は内部チャンバー全体に均等に分布し、高精度で再現性の高い拡散プロセスをもたらします。KOKUSAI DD-803Vは1400°Cまでの温度に達することができ、1°Cまでの正確な温度を決定することができます。拡散プロセスを適用するために、HIKEは、最も適切な方法で部品を確保するために、ボート、キャリア、プレート、およびホルダーなどのアクセサリーの広い範囲を提供します。完全な均一な拡散プロセスは滑らかなローディングおよび荷を下すことを可能にし、温度変化の率が一定であることを保証する調節可能な機械コンベヤーシステムによって可能になります。DD-803Vはまた、低ガス消費と好みに応じて温度を調整するために上下の石灰石ノブへの便利なアクセスを提供しています。操作が簡単で、作業負荷を最適化しながら優れたパフォーマンスを提供する堅牢で長持ちするツールです。それは自動過熱制御、個々に調節可能なヒーター、ガス保護弁および複数のfailsafeの選択のようなさまざまな安全機能を含んでいます。結論として、KOKUSAI/HIKE DD-803Vは高度で信頼性の高い垂直拡散炉です。メカニカルコンベアアセンブリ、内蔵冷却システム、堅牢な材料を備えており、プロセス全体にわたって高精度で均質なプロファイルを保証します。HIKE DD-803Vは、アクセサリーの助けを借りて拡散プロセスを適用し、数多くの安全機能を組み込むことで、最高品質の拡散プロセスとユーザーの印象的な均一性を保証します。
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