中古 KOKUSAI / HIKE DD-803V-8C #293643516 を販売中

KOKUSAI / HIKE DD-803V-8C
ID: 293643516
Diffusion system.
KOKUSAI/HIKE DD-803V-8Cは、強力で信頼性が高く、高効率な拡散炉と付属アクセサリーセットです。この製品は、高温窒化チタン(TiN)発熱体とマルチゾーン制御技術を使用して、温度を正確に制御できるチャンバー全体にわたって正確な温度均一性を提供します。HIKE DD-803V-8Cは1700°Cまでの温度を達成することができ、大量のドーピング、アニールおよび他のさまざまな熱処理を可能にします。チャンバー内のTiN要素は、暖房プロセスの最適な均一性のために戦略的に配置され、チャンバー壁に高品質の熱の流れを与える特別な合金を備えています。これにより、正しい背面拡散が可能になり、熱の均一な分布が可能になります。また、国際DD-803V-8Cでは、特殊な低圧/高流量(LP/HF)技術を使用して、正確な埋め込み深度と均一なフィルム品質を確保し、製品品質を向上させ、プロセスコストを削減しています。DD-803V-8Cはまた低圧操作の点でより高いレベルの制御を可能にする操作弁および安全弁または純粋な分離弁を提供するのに使用することができる理性的なダイヤフラム圧力制御が装備されています。ダイヤフラム式圧力制御は、排気バルブを備えているため、いつでも問題が検出された場合は、炉を完全に遮断し、排気バルブを自動的に閉じてプロセスを停止させることができ、危険な条件から保護します。また、高度な加熱技術やスマートな圧力制御に加え、高度なドーピング、メンテナンス、フィルム品質の検出が容易に設定できる高度な自動リフィル技術を採用しており、毎回完璧にプロセスを実行できるようにしてDD-803V-8Cます。最後に、HIKE DD-803V-8Cはモジュール式の省スペース設計で設計されており、重力トレイオーブン、ビーム発射ツール用エミッタ、デュアル温度炭化ケイ素のるつぼ、ガスキャビネット、マスフローコントローラなどのアクセサリーが装備されています。KOKUSAI DD-803V-8Cの多くの機能とコンポーネントを組み合わせることで、拡散プロセスにおいて高精度、信頼性、性能を必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。
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