中古 KOKUSAI DJ-853V #9284512 を販売中

製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-853V
ID: 9284512
ヴィンテージ: 2001
Vertical LPCVD furnace 2001 vintage.
KOKUSAI DJ-853Vは、様々な基材に最高品質の熱処理を提供するために設計された拡散炉です。それは高純度材料のアニール、合金化、酸化および安定化および拡散のために適しています。直径8インチ(203。2mm)、長さ12インチ(304。8mm)までの基板加工が可能です。KOKUSAI DJ 853Vは、2段階のスプリットシステム設計を採用しています。上段は加熱および冷却温度を提供し、下段は結合温度と拡散プロセスの時間を提供します。高温拡散プロセスのために、セラミックホットゾーンが提供され、また、チャンバー汚染を低減するためのガスのオプションが増加します。また、精密かつ安全な拡散制御のための標準として、真空および圧力PID制御システムが含まれています。このユニットには、一貫した信頼性の高い動作を保証するための高度な水冷モータ駆動機も含まれています。DJ-853Vには、より高いスループットと安全性を向上させるためのオプションローダー、アンローダー、シーリングツールなど、さまざまなオプションアクセサリーが付属しています。シール資産は、内部の空気漏れによる結合問題の可能性を大幅に低減するように設計されています。また、プロセスチャンバの内部を直接見ることができ、安全で効果的なプロセスにも貢献するプロセスチャンバービューポートなどの追加部品をモデルに追加することも可能です。DJ 853Vは、さまざまなプロセスコントローラタイプと統合することができます。直感的な生産管理ソフトウェアが含まれており、お客様の生産性を最大限に高める包括的なパッケージを提供するように設計されています。このソフトウェアは、モニタリングとロギングプロセスパラメータと結果を含む包括的なレシピとシーケンス管理を提供します。さらに、このソフトウェアはカスタムマシン構成やプロセスパラメータに適応することができ、お客様は特定のプロセスに最適な結果を見つけることができます。KOKUSAI DJ-853Vは、お客様に高信頼性の拡散装置を提供しています。品質と性能が不可欠なアプリケーションに最適であり、常に変化するプロセス要件に合わせて調整することができます。
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