中古 KOKUSAI DJ-853V #9273103 を販売中

KOKUSAI DJ-853Vは、効率的で経済的な炉の操作を提供するために設計された高度な拡散炉とアクセサリーです。この製品は、最も洗練された半導体デバイスの厳しい要件を満たすように設計されています。KOKUSAI DJ 853Vは、ドーパントの均一な拡散のための均一な温度環境を提供する45°傾斜および直線両面チャンバーを利用しています。チャンバーのサイズは900mm × 600mmで、加熱ゾーンは6面で、それぞれ独立して設定されており、最適な温度制御が可能です。また、加熱ゾーンは3つの別々に設定可能なホットゾーンと交換可能なホットゾーンで分割され、最大のユーティリティを可能にします。ホットゾーンはイベントサービスで取り外し可能で、メンテナンスが必要です。DJ-853Vには、室内の均一な温度を確保する高い熱効率を特徴とする抵抗発熱体が装備されています。動作温度範囲は、シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウム、および関連化合物などの材料との互換性を可能にします。動作温度範囲は0°C〜1000°Cです。また、22kWの最小消費電力を実現するように設計されており、エネルギー効率が高い。DJ 853Vはまた、可能な限り最小のフットプリントを提供するための垂直ジオメトリ設計を提供しています。装置全体が設置、操作、メンテナンスが容易で、低温ポンプ、ターボ分子ポンプ、および効果的な拡散操作に必要なその他の部品を備えています。このシステムには、特定のアプリケーションの設定を自動的に最適化する高度な自動チューニングプロセスも含まれています。KOKUSAI DJ-853Vはまた、ユニットがスムーズかつ安全に動作するように幅広い安全機能を搭載しています。工具への不正アクセスを防止するオートロックマシンと、シャットダウン時に加熱ゾーンにクールダウン効果をもたらすクールボックス資産を備えています。このモデルはまた、抵抗発熱体の熱抵抗を高めるように設計されたハロゲン冷却装置を備えています。要するに、KOKUSAI DJ 853Vは、最適な拡散操作を提供するように設計された先進的な拡散炉とアクセサリーです。この製品の特徴は、45°傾斜および直線両面チャンバー、高い熱効率を持つ抵抗発熱体、0°C〜1000°Cの動作温度範囲、小さなフットプリントを備えた垂直ジオメトリ設計、低温ポンプ、ターボ分子ポンプ、高度な自動チューニングプロセス、およびさまざまな安全機能です。DJ-853Vは、最も洗練された半導体デバイスに最適です。