中古 KOKUSAI DJ-853V #9206222 を販売中

KOKUSAI DJ-853V
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-853V
ID: 9206222
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
LPCVD Systems, 6" 1996 vintage.
KOKUSAI DJ-853V拡散炉は、さまざまな半導体製造プロセスを実行しながら、正確な温度制御を提供するために設計された先進的なツールです。炉は、作業室全体に均等に分散温度を提供するために、垂直および水平の加熱要素、ならびにアクティブなフロー制御を利用します。容器の堅牢な真空シールは、高品質の操作とクリーンルームの排出制御コンプライアンスを保証します。KOKUSAI DJ 853V拡散炉は、200°C〜1300°Cの標準温度範囲を有し、特殊工程ではオプションで温度が高くなります。直感的な温度集中システムにより、複数の点で急速な温度調整が可能で、急速に変化する合金温度に最適です。アクティブなフロー制御設計により、精密な温度管理が可能になります。DJ-853Vにはアンペアージレギュレータが内蔵されており、正確に制御された電流曲線のための幅広いアニール電流をユーザーが制御できます。最大4つの水晶チューブ接続、最大3つのアニーリングゾーン、2つの独立したガス制御バルブにより、DJ 853Vはマルチステップアニーリングプロセスを容易に処理できます。KOKUSAI DJ-853Vには、現在の温度を0。1°Cの高感度分解能で表示する高度なPID制御モニターを搭載し、時間と電流値を追跡します。また、最大500レシピのストレージ容量と、USB接続とオプションのイーサネットポートを備えており、データ転送が簡単です。高品質の水晶チューブを搭載し、圧力スイッチ、空冷システム、過温度保護などの安全機能を備えたKOKUSAI DJ 853Vは、現代の半導体製造設備に最適な拡散炉です。
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