中古 KOKUSAI DJ-853V #9205046 を販売中

KOKUSAI DJ-853V
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-853V
ID: 9205046
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
LPCVD Systems, 6" 1996 vintage.
KOKUSAI DJ-853Vは、半導体、金属有機化学蒸着(MOCVD)、酸化物受動及び前拡散用に設計された高性能拡散炉です。高集積回路の開発のために半導体や電子アプリケーションで広く使用されてきました。KOKUSAI DJ 853Vは、空気または窒素プロセス雰囲気を利用した完全自動拡散炉であり、真空ベルです。最大処理温度は摂氏1200度で、システムは最大75ランダムなプログラム可能ポイントを加熱することができます。シングルゾーンコントローラは、最大レート1,100°C/minまたは最大レート1,200°C/minの2ゾーンコントローラを備えています。DJ-853Vは、タングステンまたはモリブデンの3分の2の発熱体が付属しており、サファイアまたは石英で作られた石英蓋を持っています。また、温度監視用の光学ピロメータも備えています。操作中の安全性を確保するために、DJ 853Vは真空ベルと熱の間に押し下げて段階を冷却することができるカバーで設計されています。また、炉の圧力を制御するために、フロントパネルに配置された圧力送信機も装備されています。KOKUSAI DJ-853Vは、その操作を補完するアクセサリーの範囲を持っています。チャンバーに制御された酸素流量を提供するバブラーと、精密な温度制御のために調整できるロータリーバルブ、幅広い化学薬品やガスのための様々なガスラインが付属しています。さらに、ワークピースの均一な加熱のための石英とアルミナサセプターを装備することができます。最後に、プローブステーションを使用して炉のプロセスを監視することができます。KOKUSAI DJ 853Vにはハードウェアとソフトウェアパッケージを装備することができ、遠隔地からのユーザー操作と制御が可能です。これらのパッケージには、レシピを作成するためのソフトウェアアプリケーション、プログラマブルロジックコントローラなどが含まれます。DJ-853Vは半導体および電子産業のための優秀な多目的拡散炉です。その効率的で安全な操作は、高集積回路の開発において、メーカーや設計者の間で人気のある選択肢となっています。信頼できるシステムと堅牢な機能により、加工されたすべての製品の最高品質を保証します。
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