中古 KOKUSAI DJ-853V #9048140 を販売中
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ID: 9048140
SiON LPCVD furnaces
Configured with DCS/NH3/N2O
High temp transformer, 1200°C.
KOKUSAI DJ-853Vは、一貫した正確な加工結果を必要とする高精度アプリケーション向けに設計された、最先端の拡散炉およびアクセサリーです。この高度な炉は、処理パラメータを正確に制御する必要があるマイクロエレクトロニックおよびオプトエレクトロニクス業界のアプリケーションに最適です。KOKUSAI DJ 853Vは、波長530nmを中心としたスペクトル光を放射する放射型ハロゲンランプを熱源として搭載しています。ランプによって放出されるほぼ完璧なスペクトルは、ランプ温度とスペクトル分布に影響を与える固有のシフトを補償する必要なく、炉が正確な結果を出すことを可能にします。また、この拡散炉は、高精度プロセスを確保するために、放射光を基板に集中させる反射板を使用しています。これは光を反射するため、基板は光学エネルギーの正確な量を受け取ることができ、プロファイルの劣化を最小限に抑えて正確な結果に貢献します。正確な温度制御を実現するために、DJ-853Vにはトップオブラインの温度制御システムも装備されています。温度を調節するために熱電対とPID (Proportional Integral Derivative Controller)を使用しています。熱電対は基板の温度を測定し、PIDコントローラを使用してハロゲンランプの温度を調整します。さらに、この拡散炉には、すべてのプロセスパラメータを制御する高度なタイマーが装備されています。正確で信頼性の高い時刻表を可能にし、継続的なプロセスを可能にします。このタイマーは最後に使用したパラメータを記憶することもでき、ユーザーは以前に実行された処理ジョブを簡単に復元することができます。安全で高品質なプロセスを保証するために、DJ 853Vには、基板に悪影響を及ぼす可能性のあるオゾンの形成を防止するオゾン生成保護システムが装備されています。最後に、KOKUSAI DJ-853Vを排気室に取り付けることで簡単に統合できます。また、ユーザーフレンドリーな操作ディスプレイを備えた直感的なコントロールパネルを備えています。KOKUSAI DJ 853Vは強力な拡散炉とアクセサリーで、精密な結果を非常に高いレベルで提供することができます。高度な技術を活用して一貫した正確なプロセスパラメータを確保し、ユーザーは簡単かつ確実に正確なプロセスを実行することができます。
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