中古 KOKUSAI DJ-853V #293648859 を販売中

KOKUSAI DJ-853Vは、半導体部品を正確かつ効率的に製造するために設計された拡散炉およびアクセサリ装置です。本体、電源ケーブル、タッチスクリーンディスプレイ付き制御ユニットで構成されています。KOKUSAI DJ 853Vは直径8インチのチャンバーを持ち、最大5インチまでのウェーハ処理が可能です。チャンバーは高純度の水晶チューブで構成され、特別なガス密閉シールで密閉されています。これにより、効果的な温度均一性と迅速な応答時間が保証されます。最大加熱速度500°C/分で1250°Cまでの温度制御が可能です。また、2ゾーンの温度制御ツールを備えており、上から下まで独立した温度制御が可能です。このアセットには、半導体部品の効率的かつ正確な製造を容易にするように設計されたさまざまなプロセス・オプションも含まれています。これらには、2段階の硫化プロセス、in-situ加熱アニーリングプロセス、および低圧急速熱処理（RTA）プロセスが含まれます。硫化プロセスには、層分離プロセスと差動拡散プロセスが含まれます。In-situ加熱アニーリングプロセスは、コンポーネントの熱予算を低減します。低圧RTAプロセスを使用して、処理中のシリコンの熱拡散を最小限に抑えることができます。DJ-853Vには、さまざまな安全機能も含まれています。これらには、Over Temperature Protection （OTP）モデル、プログラム可能な安全コントローラ、および緊急停止ボタンが含まれます。OTP装置はシステム温度範囲を監視し、安全な動作を保証します。プログラム可能な安全コントローラは、ユニットの動作パラメータを監視し、緊急停止ボタンを使用すると、緊急時にはすばやくマシンをシャットオフできます。また、DJ 853Vはコンパクトで効率的なデザインを備えており、ラボ内のフットプリントを小さくすることができます。このツールはまた、カスタマイズ可能な機能の広い範囲を備えており、ユーザーは特定の製造ニーズに合わせてアセットを調整することができます。このモデルは様々なアクセサリーと互換性があり、学術環境と産業環境の両方に最適なソリューションです。