中古 KOKUSAI DJ-853V #293596350 を販売中

KOKUSAI DJ-853V
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-853V
ID: 293596350
ウェーハサイズ: 8"
Diffusion furnace, 8".
KOKUSAI DJ-853Vは、半導体製造などの材料加工用途向けに設計された先進的な拡散炉およびアクセサリ装置です。温度および時間制御された温度プロファイル制御、コンピュータ制御の生産管理、リモートシステム監視など、厳しい生産環境で信頼性の高い効率的な運用を保証するさまざまな機能を提供します。KOKUSAI DJ 853Vは、強力で効率的な直流(DC)抵抗加熱ユニットを備えており、作業室全体で正確な温度制御と優れた温度均一性を実現します。加熱機は、高級セラミック絶縁材を使用しており、幅広い温度およびプロセス時間で堅牢で信頼性の高い性能を提供します。外部ガス供給やガス供給制御のオプションも用意されています。DJ-853Vは± 1°C内に制御される非常に精密な温度のプロフィールを作り出すことができます。温度プロファイルと時間制御された温度プロファイル制御のための最大6つの独立したプログラムを提供し、加熱サイクル全体を通して正確な温度制御を可能にします。実験室グレードのデジタル制御温度コントローラは、再現可能な熱を確実かつ正確に制御し、温度設定を冷却し、メンテナンスを行います。DJ 853Vには、高品質の真空ポンプとvari-flowガス供給ツールが付属しており、正確で一貫した真空レベルとガス流量を可能にします。アセットには、可変半径モリブデンボートモデルも含まれており、ボートを切り替える必要なく、大幅に異なるウェハサイズの取り扱いが可能です。KOKUSAI DJ-853Vは、リアルタイム温度監視、プロセスロギング、遠隔機器の監視・分析、強力なレシピ生成・管理機能など、コンピュータ制御の生産管理機能も幅広く提供しています。これにより、最適な製品性能と歩留まりを確保するために、製品データをリアルタイムでサンプリングおよび分析し、必要に応じて生産サイクルを調整することができます。KOKUSAI DJ 853Vは、安全性を最大限に高めるために、自動インターロック、リークセンサー、過圧センサー、多段アラームレベルの自動シャットダウンシステムなど、さまざまな安全機能を備えています。堅牢な構造と高度な温度制御機能と便利な自動制御機能を組み合わせたDJ-853Vは、精密生産アプリケーションに理想的な拡散炉とアクセサリーシステムです。
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