中古 KOKUSAI DJ-853V-8BL #9309570 を販売中

KOKUSAI DJ-853V-8BL
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-853V-8BL
ID: 9309570
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
Furnace, 8" High Temperature Oxide (HTO) 2004 vintage.
KOKUSAI DJ-853V-8BLは、半導体製造プロセスで使用するために設計された拡散炉およびアクセサリーです。陽極酸化アルミニウム真空チャンバーと高温および高真空アプリケーション用の堅牢な設計を備えています。これにより、原料から基板への低分子の最適な拡散が可能となり、均質なコーティングが可能となります。それは1600°Cまでの最高の働く温度を提供し、200のmmの部屋の壁厚さを備えています。KOKUSAI DJ853V-8BLは、抵抗溶接された水冷式の鉄骨フレームで密閉され、電磁シャッター制御装置を使用しています。これにより、チャンバー温度の正確な調整と優れた温度均一性を実現します。また、効率的な避難プロセスを提供するために、ロータリーベーンポンプと赤外吸収ガスアナライザを備えた多段真空システムを備えています。オペレータの安全性を向上させるため、異常温度変化時DJ-853V-8BL機械をシャットダウンするアラームユニットを装備しています。さらに、真空の完全性を損なうことなく拡散プロセスを視覚的に観察することができる硬化鉱物ガラス窓も備えています。DJ853V-8BLはユーザーフレンドリーなタッチパネルの表示によって監督され、制御することができます。最大500個のプロセスレシピを保存でき、画面上の熱と熱拡散を制御する機能をユーザーに提供します。それはユーザーが0。2気圧の最高の4つのガスまで支える部屋の中のガスの大気を正確に制御することを可能にします。KOKUSAI DJ-853V-8BLは、多種多様な拡散熱プロセスを提供し、異なる拡散および熱要件を満たすように特別に設計されています。ドーパント挿入、熱処理、急速熱処理、急速アニーリングなどの用途に最適です。半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ基板、レーザダイオード、磁気センサ、その他の関連部品の製造にも適しています。
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